二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ １２ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１２ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ １２ Ｄｅｃ．２０１０ 　 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１０１２２５４９０８ 　 二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作 ， ， １２ １ １ １２ １ １ 崔乃迪 ，梁静秋 ，梁中翥 ，周建伟 ，宁永强 ，王维彪 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００３９） 摘要：为了制作可用于通信波段的二维硅光子晶体波导，研究了光子晶体波导的设计方法及制作工艺。应用平面波展开 法计算了两种空气孔型光子晶体结构的ＴＥ波禁带，经筛选采用了三角晶格空气孔结构。同样利用平面波展开法计算 了引入缺陷后二维三角晶格空气孔型光子晶体波导结构的ＴＥ波禁带，经对比发现归一化频率为 ０．２９５７的缺陷态最适 宜用来制备光子晶体波导，并据此设计了用于 １．５５ ｍ波长的二维三角晶格空气孔型光子晶体波导，其晶格周期为 ４５８ μ ｎｍ，空气孔直径为 ３３９ｎｍ。对设计的结构参数进行了容差计算，结果表明误差在－３．９５ ５．６５ｎｍ方能满足设计要求。 ～ 最后使用聚焦离子束刻蚀工艺，制作了所设计的波导结构，并进行了测试。测试结果表明，样品实际晶格周期为 ４６３ ｎｍ，空气孔直径为 ３４４ｎｍ，比设计值大 ５ｎｍ，在容差允许范围内，满足设计要求。 关 键 词：光子晶体；二维光子晶体波导；三角晶格空气孔；聚焦离子束刻蚀 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ０７３４ＴＮ２５２ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２５４９ 　　 　　 犇犲狊犻狀犪狀犱犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳狋狑狅犱犻犿犲狀狊犻狅狀犪犾 犵 犺狅狋狅狀犻犮犮狉狊狋犪犾狑犪狏犲狌犻犱犲狊狅狀狊犻犾犻犮狅狀犳犻犾犿狊 狆 狔 犵 ， １２ １ １ ， ， ， ＣＵＩＮａｉｄｉ ＬＩＡＮＧＪｉ