2010第3章 电感式传感器.ppt

第三章 电感式传感器 3.1 自感式传感器 3.2 互感式传感器 3.3 电涡流式传感器 3.4 压磁式传感器 3.5 感应同步器 电感式传感器与其它传感器相比，具有以下优点： (1) 结构简单，工作可靠，测量力小（衔铁重力为（0.5~200×10 -4 N）时，电磁吸力为（1~10）×10-4N。 (2) 分辨率高，能测量0.1μm甚至更小的机械位移，能感受0.1角秒的微小角位移；传感器输出信号强，电压灵敏度一般可达数百毫伏每毫米，因此，有利于信号的传输和放大。 (3) 重复性好，线性度高。在一定位移范围 (最小几十微米，最大可达数十至数百毫米) 内，输出线性度可达±0.1%，且比较稳定。 (4) 其主要缺点是存在零点残余电压，灵敏度、线性度和测量范围相互制约，传感器自身频率响应低，不适用于快速动态测量。 3.1 自感式传感器 3.1.1闭磁路自感式传感器 保持磁导率μ和气隙有效截面积S固定不变，只改变 气隙长度l，即以气隙长度l为传感器的输入量，可制成 变气隙型自感式传感器，常用于线位移的测量。其结构 原理图如图3.1所示，当衔铁受外作用上下移动时，气隙 长度l随之改变，变气隙型自感式传感器的转换关系是非线性的，即L与l成反比，下面对其特性进行分析。 1）灵敏度 2）非线性误差 若用式近似求取灵敏度，由于忽略了式中的高次非 线性项产生了非线性误差。其大小为: 与变截面型自感式传感器相比，变气隙型自感式传感器 的灵敏度较高；但其非线性严重，自由行程小，制造装 配困难。因此近年来这种类型传感器的使用逐渐减少。 3.变截面型自感式传感器 保持磁导率μ和气隙长度l固定不变，只改变气隙有效截面积S，即以气隙长度S作为传感器的输入量，可以制成变截面型自感式传感器，常用于角位移的测量。其结构原理如图3.2所示。变截面型自感式传感器其转换关系是线性的；同时，其灵敏度Ss为常数。 4．闭磁路差动式自感传感器 对变截面型差动式自感传感器，其灵敏度为，比单极式提高了一倍。对变间隙型差动式自感传感器，其灵敏度为 3.1.2 开磁路自感式传感器 1．螺线管式自感传感器 2．螺线管差动式自感传感器 由螺线管式自感传感器的 工作原理可知，由于线圈电流 的存在，因此铁心受到单向电 磁力的作用，而且易受电源电 压和频率及温度变化等因素的 影响，因此测量精度较低。因 此，常用差动技术改善其性 能，由两个单一结构对称组合 就构成了螺线管差动式自感传 感器，如图3.5所示。 3.1.3 转换电路 1．调幅电路 调幅电路的一种主要形式是交流电桥，图3.6（a）所示为交流电桥的一般形式。桥臂Zi可以是电阻、电抗或阻抗元件。电源电压为，当负载端空载时，输出电压为开路电压，表示为 2．调频电路 调频电路的基本原理是传感器电感L变化 将引起输出电压频率f的变化。一般是把传感 器电感L和一个固定电容C接入一个振荡回路 中，如图3.8（a）所示。 3．调相电路 调相电路的基本原理是传感器电感L变化引起输出电压相位φ的变化。图3.9所示. 3.1.4 零点残余电压 造成零点残余电压的主要原因是： （1）差动式自感传感器的两个传感器不完全对称，如几何尺寸不对称、电气参数不对称及磁路参数不对称； （2）存在寄生参数； （3）供电电源中有高次谐波，而电桥只能对基波较好地预平衡； （4）供电电源很好但磁路本身存在非线性； （5）工频干扰。 3.1.5 自感式传感器的应用 自感式传感器有如下几个特点： （1）灵敏度比较好，目前可测0.1μm的直线位移，输出信号比较大、信噪比较好； （2）测量范围比较小，适用于测量较小位移； （3）存在非线性； （4）功耗较大，尤其是单极式自感传感器，这是由于它有较大的电磁吸力的缘故； （5）工艺要求不高，加工容易。 3.2 互感式传感器 3.2.1 螺线管式互感传感器 2．基本特性 3.2.2 互感式传感器的应用 图3.16所示为互感式加速度传感器的示意图。它由臂梁1和互感式传感器2构成。测量时，将臂梁底座及互感式传感器的线圈骨架固定，而将衔铁的A端与被测振动体相连。当被测体带动衔铁以x(t)运动时，互感式传感器的输出电压也按相同规律变化。 3.3 电涡流式传感器 3.3.2简化模型及等效电路 根据基尔霍夫第二定律，可列出如下方程： （3-35）