在矽基板上高电阻系数之氧化锌感测材料之研制在.pdfVIP

在矽基板上高電阻係數之氧化鋅感測材料之研製在矽基板上高電阻係數之氧化鋅感測材料之研製 在矽基板上高電阻係數之氧化鋅感測材料之研製在矽基板上高電阻係數之氧化鋅感測材料之研製 Study of High Resistivity Zinc Oxide Humidity Sensing Material Grown on Silicon Wafer 楊誌欽 Chih Chin Yang 國立高雄海洋科技大學 微電子工程系 高雄市 811 楠梓區海專路 142 號 Department of Microelectronics Engineering, National Kaohsiung Marine University, 142, Road, Kaohsiung, 811 Taiwan R