学习情境4：单晶硅材料准备.pptVIP

学习情境4 单晶硅材料制备 引言 硅材料是半导体工业中最主要且应用最广泛的元素半导体材料； 是微电子工业和太阳能光伏工业的基础； 主要形式： 单晶硅 多晶硅、非晶硅 薄膜非晶硅、铸造多晶硅、带状多晶硅、薄膜多晶硅 直拉单晶硅和铸造多晶硅占太阳能光电材料的90%以上！ 太阳能电池用硅材料 硅材料分类 按纯度分： 金属（级）硅 半导体（电子级）硅 按结晶形态分： 非晶硅 多晶硅 单晶硅 区熔单晶硅： 利用悬浮区域熔炼方法制备，又称FZ硅单晶； 区熔单晶硅主要应用于大功率器件，在国际市场上约占10%左右； 直拉单晶硅： 利用切氏法制备，简称CZ硅单晶； 直拉单晶硅制造成本相对较高，机械强度较高，易制备大直径单晶； 太阳电池材料发展历程 1970年以前，直拉单晶硅是唯一大规模工业化生产太阳电池光电材料，电池效率高、工艺稳定成熟，但成本相对较高； 1980年，薄膜非晶硅得到发展和应用，制备在玻璃衬底上，制作成本较低，但其光电转换效率也低，而且存在效率衰减现象，稳定性差； 1990年后，铸造多晶硅、带硅得到快速发展，其成本相对较低，效率高； 2001年，铸造多晶硅已占整个国际太阳能光电材料市场的50%以上，成为最主要的太阳电池材料； 具有高密度的位错、微缺陷和晶界，影响光电转换效率（到目前为止，薄膜多晶硅在工业上还未得到大规模应用，存在的主要问题就是效率较低）； 但是由于其潜在的低成本和相对高