检测微小表面温度分布的高分辨率阵列式温敏二极管温度传感器参考.docVIP

检测微小表面温度分布的高分辨率阵列式温敏二极管温度传感器 1.导言 微观结构中的各种相互作用通常都涉及流体流动或者是能量的交换，由热力学第二定律可知热转移是一种不可逆转的现象.在许多的微型机械系统中热量是至关重要的其中包括微观结构中遇到的生物反应和处理，燃料电池，高性能热 热交换器和冷却装置，和化学过程，以仅举几例这些传感器会存放在一个圆片或玻璃表面射或薄膜蒸发过程。 但是，每一个传感器因此，扫描技术使DTSA量这种做法类似于研究小组二极管传感器。金等人在马里兰大学发展二极管传感器阵列，以便研究沸腾传热现象。然而，他们只有16二极管的.我们改善和扩大，为了实际可行性，。 如图1所示恒流电流通过硅二极管时会产生一个正向压降，它会随着硅二极管的温度的升高而下降。二极管两端的压降与其绝对温度成反比例。通常，二极管两度的压降是0.7V。在室温情况下这个电压随温度每增加1.c下降2mv.然而，由于不同的制造工艺，晶片的不同放置位置以及各种杂质，许多市面上的二极管并没有一致的温度特性。因此，所有的二极管温度传感器必须进行校准，以确定温度变化与压降间的关系。这可以通过温度控制箱来实现，如果控制箱的温度是知道的，那么二极管传感器的温度信号就可以校准。 图1 二极管传感器的工作原理 将大量的温度传感器集成在一个微小的区域需要用到新的集成技术,举一个