真空的测量.pptVIP

按真空计测量原理分类 四、真空测量特点 　　　(1)测量压力范围宽，105～l0-14Pa。????(2)大部分真空计是间接测量，只有压力为105～l0Pa时，可直接测单位面积所受的力。但大多数真空测量的压力远比上述为小，不能直接测量，应利用低压下气体的某些特性(如热传导、粘滞性和电离等)进行间接测量。????(3)多采用电测技术，反应迅速，灵敏度高，可实现自动化。????(4)大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。所以测量时要特别注意被测量气体种类和成分，否则会造成很大误差。????(5)测量精度不高。 六、 常见真空计介绍： 2、压缩式真中计－麦氏真空计(10-3Pa) 　　　 压缩真空计的特点是：????(1)刻度与气体种类无关，这是对永久性气体而言。????(2)测量范围较宽、精度较高。工作用压缩式真空计的测量范围为102～l0-3Pa，对其结构尺寸进行改进后可使量程进一步扩大。其测量精度比较高。????(3)不能连续测量。由于每测量一次需升降水银一次，不能连续读数，操作费时。????(4)水银蒸气对人体有害。 热偶真空计 　　　 　　　热偶真空计是借助于热电偶直接测量热丝温度的变化，热电偶产生的热电势就用于表征规管内的压强。 热偶真空计由热偶规管和测量线路两部分组成。热偶规管主要出热丝和热电偶组成，热电偶的热端与热丝相连．另一端作为冷端经引线引出管外，接至毫伏表。规管上端与待测的低真空相通，COD为由铂丝制成的加热灯丝，AO和OB分别为康铜和镍铬丝组成的热电偶，热电偶的热端O与灯丝的中部相焊接，灯丝通过加热电流时，热偶的冷端A、B所处的温度基本相同，并由导线从管脚引出，与测量电动势的毫伏表相联，由测量仪器提供稳定的灯丝加热电流。 ５、电离真空计 　　　工作原理是：利用某种手段使进人规管中的部分气体分子发生电离，收集这些离子形成离子流；由于被测气体分子所产生的离子流在一定压强范围内与气体的压力呈现出正比关系。则通过测量离子流的大小就可以反映出被测气体的强，电离真空计就是依此得名的。电离真空计可按电离方式的不同分为三类。一类是应用最广、依靠高温阴极热电子发射原理工作的热阴极电离真空计；另一类是没有热阴极而靠冷发射(场致发射)原理工作的冷阴极电离真空计；三是采用放射性同位素作为电离源的放射性电离真空汁。 热阴极电离真空计（测量范围为0.1~10-８Pa） 　　　 热阴极电离真空计规管主要包括三个电极： 电离真空计中正离子流与气体压强的线性关系仅存在于10-1~10-5帕压强范围内，在较高的压强下向偏小，而压强较低时却向增大的方向偏离。偏离的原因（本底电流，软X射线，碰撞自由程，二次电子）。 冷阴极电离真空计—潘宁规（0.1-10-4Pa） 冷阴极电离真空计是以冷阴极取代热阴极作为电离真空计的电子源，俗称冷规，也称为磁放电真空计。潘宁规放电的放电电流I与气体压力p的存在如下关系：I = KPn。 分压力真空计和参与气体分析—质谱计 随着真空技术的不断发展，不但要求准确测量气体的全压力，而且还希望对真空容器内残余气体的成分进行分析以了解气体的纯度，掌握气体中各种组分气体所占份额；或者直接测量真空中混合气体组分和相应的分压力值。这就是残余气体分析或分压力测量技术。 按工作原理分：磁偏转质谱计，回旋质谱计，飞行时间质谱计，射频质谱计，四极质谱计等。 （1）用电子碰撞的方法将气体电离。 （2）在质量分析器中利用磁偏转、共振、飞行时间不同等质量分析技术，将离子按荷质比不同进行分离。 （3）将分离的离子流进行放大，在显示装置上依次显示出每一荷质比的离子流的强度。 （4）识谱。 四极质谱计原理 某种离子能够穿越分析器的稳定条件由下列两个系数决定： 　 具体的真空测量过程，需考虑： 1、真空计的校准。 2、气体种类对读数和规管的影响。 3、环境温度对测量的影响。 4、规管安装位置和方法对真空测量的影响 5、真空规的抽气和放气的影响。 B-A型真空计—— 贝阿德(Bayard)和阿尔珀特(A1Pert)首先提出 真空质谱计的工作过程： 气体的质谱图 分析器由四极对称排列的双曲面组成，直流电压和高频电压幅值 保持一定的比例。 在某一特定的电压和频率下，只有一种质量的离子可以通过-滤质器 * *  　　　　　邵先亦 　第四讲　　真空的测量 　　真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的，并不十分合理。压力高意味着真空度低；反之，压力低与真空度高相对应。 　　真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准三个部分。用以探测低压空