扫描探针显微术的原理及应用.pdf

掃描探針 顯微術專題 掃描探針顯微術的原理及應用 Scanning Probe Microscopy: Principles and Applications 黃英碩 Ing-Shouh Hwang 1980 年代初期發明出來的掃描穿隧顯微術，以及日後陸續發展出來的其他掃描探針顯微術 (SPM) ，提供科學家一個嶄新的能力去觀察、量測、甚至操控奈米級的世界。SPM 有一獨特 的優點是，藉由選取適當的探針，可探討物質表面上奈米等級的物理及化學性質，目前已有 數十種不同的SPM 技術，而且新的技術仍不斷開發中。此外，有些原本為SPM 而發展出來 的技術，已有部分應用到其他用途上，例如高密度儲存元件及高靈敏度生化分子檢測。因 此，可以預見SPM 對奈米科技將有重大的衝擊。 The invention of scanning tunneling microscopy in early 1980’s and the subsequent development of other scanning probe microscopies (SPMs) have provided scientists unprecedented capability to image, to measure, and to manipulate the nano-world. One unique advantage of SPMs is that different physical and chemical properties on surfaces can be studied at the nanometer scale by the appropriate choice of probe tips. Currently there are tens of different SPMs, and many other new probe technologies are under development. Besides, several technologies that were originally developed for SPMs have been found to be very useful for other applications, such as high-density storage drives and high-sensitivity bio-and-chemical sensors. Therefore, it can be expected that SPMs will have great impact on the nanoscience research and nanotechnology. 一、前言 數的比例越大。因此，如何觀察到單一奈米結構， 並對單一奈米結構作物性、化性的量測，甚至觀察 奈米結構及材料有幾個特色：(1) 尺寸很小： 到奈米材料的表面原子結構，是研究奈米科技一項 一般儀器很難觀測得到，僅有少數幾項先進顯微術 相當關鍵且極具挑戰的工作。 達到足夠解析力。(2) 獨特的物理、化學性質：奈 掃描探針顯微術 (scanning probe microscopy, 米結構的性質與大尺寸材料不同，而且不同尺寸有 SPM) 的誕生似乎是因應上述奈米科技的