提拉速率对蓝宝石晶体生长之影响TheInfluenceof.pdf

Journal of China University of Science and Technology Vol.56-2013.07 提拉速率對藍寶石晶體生長之影響 The Influence of Pulling Speed on the Growth of Sapphire Single Crystal 吳玉祥 1 黃重浩 2 Yu-Shiang Wu Chung-ho Wong 1 中華科技大學機械工程學系暨機電光研究所教授兼長晶中心主任 2 中華科技大學機電光研究所碩士 1Professor, Department of Mechanical Engineering and Graduate School of Optomechatronics 2Master, Graduate School of Optomechatronics China University of Science and Technology 摘 要 本研究使用凱氏長晶法(Kyropoulos method)生長藍寶石(Sapphire)單晶，探討藍 寶石生長過程中，提拉速率的快慢對藍寶石品質之影響。在以較快的提拉速率設 定晶體生長參數中，先以0.5 mm/hr 持續24 小時，再以0.3 mm/hr 持續 15 小時， 最後以 0.1 mm/hr 持續90 小時直到製程結束；而較慢的提拉速率是以0.3 mm/hr 持續65 小時，接著以0.1 mm/hr 持續93 小時直到製程結束。將兩顆晶體進行外觀 形狀與清澈度比較，並以強光照射觀察晶體內部雜質及氣泡等巨觀缺陷分析。結 果顯示，提拉速率較快的晶體，因初期生長時間過短，造成晶身生長過快，晶體 形狀類似圓錐狀，且出現晶體黏鍋的情形，晶體出現三個重大缺陷：首先是黏鍋 處在脫離坩鍋時出現裂痕；再者晶身過於接近坩鍋，導致晶體在冷卻階段降溫過 快，出現大面積裂痕；最後晶體底部附著大量的雜質，無法達到商品化的要求。 提拉速率較慢的晶體，因晶體初期與中期的生長階段緩慢且長時間生長，因而呈 現明顯的圓柱狀，沒有因為過快的生長造成黏鍋情形發生，晶體呈現透明狀，可 符合商品化的規格要求。 關鍵字：凱氏長晶法、藍寶石、單晶、提拉速率 Abstract This study used Kyropoulos method to explore the influence of pulling speed for the growth of sapphire single crystal that investigated the sapphire quality during the growing process. In setting faster pulling rates for crystal growth parameters, initially we run with 0.5 mm/hr for 24 hours, then 0.3 mm/hr for 15 hours, and finally with 0.1 1 提拉速率對藍寶石晶體生長之影響 mm/hr for 90 hours to the end of the process. In setting the slower rates, we run with 0.3 mm/hr for 65 hours, then 0.1 mm/hr for 93 hours to the end of the process. The two crystals were compared by the appearance and c