光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽椀 暋 棻棽 暋 斨旓旍棶棽椀暋斘旓棶棻棽 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椃 棻棽 暋 暋 暋 斈斿斻棶棽棸棻椃 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椃棻棽灢棾棸棽椃灢棸椃 光栅复制拼接光路中入射光角度对拼接误差的影响 棳 棳 棳 棻棽 棻灣 棻棽 棻 棻 棻棽 棳 棳 棳 棳 棳 丛 敏 齐向东 糜小涛 于海利 李晓天 卢禹先 暋 棬 棳 椈 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春 棻棶 棻棾棸棸棾棾 棳 棭 中国科学院大学 北京 棽棶 棻棸棸棸棿椆 椇 暎 摘要 设计了一种基于干涉检验法的复制拼接光栅测量光路 针对光栅复制拼接光路中入射光角度难以精确测量的问 棳 暎 棳 题 分析了光栅拼接实验中入射光角度对光栅拼接的影响 建立了光栅拼接误差模型 分析了五维拼接误差的容限要 暎 棳 暎 求 按照光栅复制拼接光路的要求 设计了一种干涉仪角度调节装置 根据误差模型和拼接光路分析了 椀棸棸旐旐暳椀棸棸 暎 椇 棳 旐旐大尺寸中阶梯光栅复制拼接光路中入射光角度误差与拼接误差的关系 结果显示 入射光角度误差为 棻曘拼接光路 中绕 棳 棳 棳 轴 轴的转动误差 殼 殼 和沿 轴的位移误差 的计算值与实际值之间分别相差 棸棶棸棸棽棻 旘斸斾棸棶棸棸棾棾 毺 棳 暎 棳 棳 和 时 引起波前差为 根据这一计算结果 给出了干涉仪角度调节装置的设计指标 即设置 毺旘斸斾 棸棶棾棿椄棽旑旐 棽棶椀椆棸棻旑旐 棳 暎 角度调节分度为 时 可满足大尺寸光栅复制拼接要求 棸棶棻曘 椇 椈 椈 椈 关 键 词 光栅拼接 光栅复制 拼接误差 误差分析 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷