锆钛酸铅压电厚膜之研制及其在致动与发电方面之应用.PDF

行 精 類 行 年年 行 朗 參理金 理劉 論 理 年 國家科學委員會補助專題研究計畫 鋯鈦酸鉛壓電厚膜之研製及其在致動與發電方面之應用 (I) 計畫類別 ：個別型計畫 □整合型計畫 計畫編號 ：NSC 97 －2221 －E 269 －001 － 執行期間 ： 97 年8月 1日至 98 年7月 31日 計畫主持人 ：吳朗 共同主持人：陳炳輝 ，陳柄成 協同主持人 ：邱明誠 計畫參與人員 ：吳金崑 ，劉為國 成果報告類型(依經費核定清單規定繳交 )：精簡報告 □完整報告 本成果報告包括以下應繳交之附件： □赴國外出差或研習心得報告一份 □赴大陸地區出差或研習心得報告一份 出席國際學術會議心得報告及發表之論文各一份 □國際合作研究計畫國外研究報告書一份 處理方式 ：除產學合作研究計畫 、提升產業技術及人才培育研究計畫 、 列管計畫及下列情形者外 ，得立即公開查詢 □涉及專利或其他智慧財產權，□一年□二年後可公開查詢 執行單位 ：遠東科技大學電子工程系 中 華 民 國 98 年 10 月 15 日 1 摘要 本研究 採用溶膠凝膠法(Sol-gel) 來製作純度相當高、組成均勻的鋯鈦酸鉛(lead zirconate titanate, Pb(Zr,Ti)O3 ，簡稱 PZT)壓電陶瓷微細粉體 ，以利往後壓電元件的製作。將PZT 凝 膠粉末加以研磨 ，探討改變煆燒溫度 、煆燒時間 ，而後改變燒結溫度、燒結時間 ，以阿基 米德法測其密度，X-ray 繞射分析鑑定其結構 ，SEM 分析表面結構 ，並將其極化 ，以求得 o o 最佳化製程條件 。於煆燒溫度900 C 、煆燒時間 30 分鐘，而後1100 C 燒結2 小時，可得到 密度8 g/cm3 左右的陶瓷體 。 o Pb(Zr,Ti)O (PZT) 薄膜是以旋轉塗佈法製作於Al/Si N /Si (100) 基板上。經過 150 C乾 3 3 4 o o o 燥 ，350 C 預烤 ，並以600 C~700 C 來燒結，可將非晶 PZT 薄膜轉變為具有鈣鈦礦結構的 PZT 薄膜。本文同時探討膠體濃密及燒成條件對PZT 薄膜的影響。在本研究裡最佳的製程 o o o o 為以150 C乾燥 15min ，以350 C 預烤 10min ，然後以50 C/min 升溫速率升溫至700 C 來