半导体厂智慧型冰水系统最适化操作技术.pdf

半導體廠智慧型冰水系統最適化 操作技術-產研合作案例 瑞晶電子廠務一部 空調課黃英昭、羅國源、張吉成 2012/11/23 動機 動機 為何要推動智慧冰水系統 空調系統佔全廠用電量30% ，在積極作為下較易達到 降低耗能之成效。 20% 20% 30% 30% 其它系統 為何採產研合作 其它系統 空調 空調 50% 50% 系統 系統 設備原廠設計時大都提供最具效益化 之曲線供業主參考 ，但在應用上需搭 製程機台 製程機台 系統 配之因素眾多，且需長時間觀察其效益 。 系統 綜合上述，故本廠採用產研合作之模式設 計智慧冰水機系統。 Page 2/70 大綱 冰水系統節能說明 冰水系統節能說明 冷卻水系統節能說明 冷卻水系統節能說明 冷卻水塔水節能說明 冷卻水塔水節能說明 智慧型冰水系統的操作說明 智慧型冰水系統的操作說明 節能執行的成效 節能執行的成效 經驗分享/QA 經驗分享/QA Page 3/70 大綱 冰水系統節能說明 冰水系統節能說明 冷卻水系統節能說明 冷卻水系統節能說明 冷卻水塔水節能說明 冷卻水塔水節能說明 智慧型冰水系統的操作說明 智慧型冰水系統的操作說明 節能執行的成效 節能執行的成效 經驗分享/QA 經驗分享/QA Page 4/70 冰機一次側冰水泵採用變頻式 冰機一次側冰水泵採用變頻式 冰水PUMP全載運轉(早期運轉模式) Q1 ＞Q2 △Q0(傳統模式) 。