CN107393788-CN201710579984-一种热子结构及其制备方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107393788 A (43)申请公布日 2017.11.24 (21)申请号 201710579984.7 (22)申请日 2017.07.17 (71)申请人 安徽华东光电技术研究所 地址 241000 安徽省芜湖市弋江区城南高 新技术开发区华厦科技园 (72)发明人 王鹏康　孟昭红　宋田英　 (74)专利代理机构 芜湖安汇知识产权代理有限 公司 34107 代理人 宫轶琳 (51)Int.Cl. H01J 23/04(2006.01) H01J 25/34(2006.01) H01J 9/04(2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种热子结构及其制备方法 (57)摘要 本发明公开一种热子结构及其制备方法，热 子结构包括环形本体(1)，以及环形本体(1)上设 有对称布置的钼丝缠绕热子引线(2)和对称布置 的半环螺旋形热丝(3)，且对称布置的两个钼丝 缠绕热子引线(2)的螺旋方向相反。具有上述结 构的该种热子结构及其制备方法具有工艺重复 性和一致性高的优点，既提高加热效率，又可均 匀加热阴极，在脉冲使用情况下能有效的消除热 子产生的电磁感应场的作用，保障器件的性能和 指标。 A 8 8 7 3 9 3 7 0 1 N C CN 107393788 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种热子结构，其特征在于：所述的热子结构包括环形本体(1)，以及环形本体(1)上 设有对称布置的钼丝缠绕热子引线(2)和对称布置的半环螺旋形热丝(3)，且对称布置的两 个钼丝缠绕热子引线(2)的螺旋方向相反。 2.根据权利要求1所述的一种热子结构，其特征在于：所述的环形本体(1)由两个半圆 环状热丝组合而成，每个半圆环状热丝上均设有一个钼丝缠绕热子引线(2)，两个半圆环状 热丝组合处通过半环螺旋形热丝(3)缠绕固定。 3.根据权利要求2所述的一种热子结构，其特征在于：所述的半圆环状热丝是由钼芯杆 加工而成，所述的钼丝缠绕热子引线(2)为钨铼20合金丝，所述的半环螺旋形热丝(3)为钼 丝。 4.一种制备权利要求1-3任一项权利要求所述的热子结构的方法，其特征在于：所述的 加工方法包括， 1)在绕线机设备上将钨铼20合金丝绕制在钼芯杆上，制备钼丝缠绕热子引线(2)，每段 钼丝缠绕热子引线(2)之间的跳变距离15mm，之后在拉丝炉中进行拉丝定型，最后将螺旋线 热丝在跳变中心切割成毛坯； 2)将切割好的毛坯放入模具中，并使毛坯成型为半圆环状； 3)将成型为半圆环状的热丝放置于整形工装中，并在1500-2000℃的氢炉内退火定型， 保温时间为10-60分钟； 4)将定型好的半圆环状热丝放置于烧杯中，并倒入配制好的刻蚀芯丝的化学刻蚀液 体，进行化学刻蚀芯丝，刻蚀过程中可以用镊子拿取样品在显微镜下观察芯丝刻蚀情况，保 证半圆环状热丝刻蚀干净； 5)将刻蚀好的半圆环状热丝放入中和液中浸泡，然后用去离子水冲洗干净； 6)修正半圆环状热丝的引线(跳变)部分，使得引线部分平直； 7)将修正后引线的半圆环状热丝两个配对放置于工装中，并将相互配合的两个半圆环 状热丝上的钼丝缠绕热子引线(2)的螺旋方向相反进行配置； 8)将组合在一起的两个半圆环状热丝的结合处通过半环螺旋形热丝(3)缠绕固定； 9)将经过步骤8)加工后的热子结构放入工装中，在氢炉内退火定型，保温时间为20-40 分钟，进一步修正