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纳米加工及纳米碳管物性分析 The nanofabrication and electrical property measurements of the carbon nanotubes 物理学院物理系99级 王莹 摘要 本文首先介绍了北京大学最新引进的聚焦离子束纳米工作站(FIB)、台湾清华大学的电子束曝光系统(E-beam Lithography)，阐述了其结构、工作原理，以及操作使用方法。文章着重总结了在“政基金”实习期间，作者利用上述设备，在单根纳米碳管纳米加工与性质研究方面获得的结果。 Abstract In this paper, we first make a brief introduction to the structures and physical properties of the carbon nanotubes (CNTS) . Focused Ion Beam (FIB) was utilized to deposit Pt on the single nanotube to form electrodes. The I-V character of the single multi-walled carbon nanotube was measured at different temperatures. E-beam Lithography was also used to write directly some patterns in nanometer scale for future research. 引言 纳米碳管背景介绍 信息技术、、。、、等量子效应。自80年代中期纳米块体材料被合成以来, 纳米科技的研究对象已经涉及了材料、化学、物理、电子、纳米加工、生命科学等非常广泛的领域，并且与应用密不可分。纳米材料、纳米器件、纳米检测与表征已经成为三类功能性很强的研究领域，其前景非常广阔，对材料制备，微电子和计算机技术，环境和能源，生物，航天航空必将会产生巨大影响。 扫描隧道显微镜(STM)技术的发明拉开了人们观测和操纵原子的序幕。1991年，日本电气公司基础研究室的饭岛 (Somio Iijima) [5]在电弧放电制备富勒烯的阴极产物中发现了碳的管状结构，宣告了碳的另一种全新结构—纳米碳管(Carbon Nanotube)的诞生。由此，人们对纳米材料的物理、化学性质展开深入研究， 纳米电子学等纳米科技随之兴起。随后出现的聚焦离子束系统(FIB)、电子束曝光系统(E-beam Lithography)更是进行微加工的强有利工具。 碳纳米管是一种圆柱形大分子，直径最小可在1纳米以下，长度则可达到数微米，甚至数毫米。这种大分子由碳原子构成，实质上可以看成由石墨的原子层卷曲成圆柱壳体。根据构成碳纳米管的石墨原子层数的不同，碳纳米管可以分为单层碳纳米管（SWNT）和多层碳纳米管（MWCNT）。单层碳纳米管由一层石墨原子层构成，而多层碳管可看成多个直径不同的单层石墨原子层的空心圆柱套构而成。石墨由层状碳原子层通过层间范德瓦尔斯力结合而成，而在石墨原子层内部，碳原子通过sp2轨道杂化在平面内形成三个互成120°的轨道，相邻碳原子之间通过这些轨道结合成牢固的共价键，使碳原子在平面内形成六角形网格，从而构成石墨原子网络层。当石墨原子层弯曲时，C－C键发生形变，能量升高，体系保留有应变能。然而，对面积有限的石墨原子层来说，处在边缘位置的碳原子并没有足够机会把所有的sp2键同周围原子结合，从而有很多悬键，这也会使能量升高。如果把一片石墨原子层卷曲成筒状并让两个对边相接，则两边的悬键互相结合，能量降低。如果这样获得的能量降低值大于卷曲石墨原子层所需克服的应变能，则卷曲成圆筒状的石墨原子层的能量低于小片的平直石墨原子层，从而可以稳定存在，这就是碳纳米管。理论计算和计算机分子模拟都表明，这是完全可能的，而且单层碳纳米管存在一个最小直径。当直径更小时，卷曲的应变能将大于悬键的结合能，纳米碳管将不会稳定存在[6] 。 图 1. 纳米碳管的电学结构,可见,?角度的不同，管子有不同螺旋性 当θ=30°时，纳米碳管的管壁边缘是“Armchair”结构 当θ=0°时，纳米碳管壁的边缘呈“Zigzag”结构 θ取其他可能的数值时，纳米碳管具有不同的螺旋度 。 由直径和卷曲方向的不同，单层碳纳米管可以有不同的形态。通常用直径dt和螺旋角θ或是螺旋矢量指数（n，m）这两组等价的指标来表征。碳纳米管的螺旋度可以用展开成平面的碳原子层上的卷曲方向与参考方向的夹角θ来表示。由于