X射线光电子能谱-staffustceducn.PPT

1.5.2、表面灵敏性 一般来讲，分析方法的表面灵敏度依赖于所检测的辐射。表面分析技术以电子能谱为中心，作为信息载体的特征电子从被X射线照射的样品中发射出，然后到达能量分析器和检测器进行分析测量。 在X射线光电子能谱中，尽管轰击表面的X射线光子可透入固体很深(~1?m)，但由于电子在固体中的非弹性散射截面很大，只有小部分电子保持原有特征能量而逸出表面。可被检测的无能量损失的出射电子仅来自于表面的1~10 nm。在固体较深处产生的电子也可能逸出，但在其逸出的路径中会与其它原子碰撞而损失能量，因而它们对分析是无用的（背景信号）。电子能谱的表面灵敏性是在固体中输运而没有被散射的短距电子的结果。 1.5.2、表面灵敏性 表1-1 不同粒子透入固体樣品的深度 实验表明电子在固体中非弹性散射截面很大，其非弹性平均自由程（具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离）很短。因此只有在极浅表层中的小部分电子保持原有特征能量而逸出表面。 粒子類型 能 量 透入深度 光子 1,000 eV 1,000 nm 電子 1,000 eV 2 nm 離子 1,000 eV 1 nm 对于电子在物质中的输运，用不同的术语定义表面灵敏度。 IMFP(λ) — 非弹性平均自由程。具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位)，称为电子的非弹性平均自由程，在表面分析中是一个重要参数，它与电子能量和表面材料有关，它可用来估计具有不同特征能量的电子所携带的信息深度。 ED — 逃逸深度。电子由于非弹性过程无大的能量损失逃逸的几率降到其原来值的e-1(38%)处垂直于表面的距离(nm单位)。 AT — 衰减长度。从一特殊模型中得到的具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位)，这里弹性电子散射假设是可忽略的。 SD — 采样深度=3λ。（检测到的电子的百分比为95%时的信息深度）。 对于能量在100?1000eV的电子来说，非弹性散射平均自由程的典型值在1?3nm的量级，此一距离对大多数材料而言约为10个原子单层。 表面灵敏性术语 1.5.3、采样深度 实验上非弹性平均自由程是非常难测量的，实际上代之以测定包含弹性散射效应的称为衰减长度的参数。 对于体相材料，电子在固体内部发生非弹性散射的几率正比于在固体中的行程长度。 dI = -I λ-1 dx 部分积分 0?? ? 63% 0?3? ? 95% ∴ 采样深度： 信息深度 1.5.4、非弹性平均自由程估算 M.P.Seah和W.A.Dench(1979)综合了大量实测数据，总结出以下经验公式： 对纯元素： 对无机化合物： 对有机化合物： 式中：电子能量 E 的单位是eV；体密度?的单位为[kg m-3]；平均单层厚度 [nm] 。 l值有多大 (nm)? 对元素硅 lm=0.41(aE)0.5 = 8单层 ln = 2.2nm 对氧化硅 lm=0.72(aE)0.5 = 13单层 ln = 3.3nm 两种情形下l为几个nm的量级 大多数l在1~3.5nm范围(Al Ka) 思考题 X射线光电子能谱的物理基础是什么？ 为什么说电子能谱是表面灵敏的分析技术? 其采样深度约有多少？ XPS有何特点和优点？它可以分析哪些元素？可提供哪些材料有关的信息？ * 《X射线光电子能谱学》X-Ray Photoelectron Spectroscopy 中国科学技术大学理化科学实验中心 合肥微尺度物质科学国家实验室(筹) 麻茂生 参考文献 课件下载：/~mams/escalab.html John F. Watts John Wolstenholme, “An introduction to surface analysis by XPS and AES”, John Wiley Sons, 2003 David Briggs and John T. Grant, “Surface Analysis by Auger and X-Ray Photoelectron Spectroscopy”, IM Publications, 2007, ISBN: 1-901019-04-7 D. Briggs M. P. Seah, “Practical Surface Analysis (Second Edition), Volume 1: Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy”, John Wiley Sons, 1992 Graham C. Smith, “Surface Analysis by Elect