离子敏传感器.pptVIP

离子敏器件 化学分析：常规容量法、电化学法、色谱法、电极测量法 常用的离子敏电极 pH-ISFET (1970:Bergveld) ISFET是在MOSFET的基础上发展起来的，其区别仅在于：绝缘栅上生长的是离子敏感膜而不是金属栅电极。其膜可以根据需要进行制备，目前已经制成了对H+、Ka+、Ca2+、Na+、F-、Cl-、Br-、I-、Ag+、CN-、NH4+等离子敏感的器件，在此基础上，还出现了NH3、H2S、CO2等气体敏感器件器件[9-12]，以及对青霉素、尿素、葡萄糖、抗原（抗体）敏感的生物敏感器件。PH-ISFET的敏感膜有Al2O3、Ta2O5、Si3N4等。 不难看出，在上述讨论中待测溶液的电位是浮空的。外界噪声的干扰会引起待测溶液电位的波动，从而会引起沟道电流的波动。这在应用pH-ISFET测量溶液的pH值时会引入测量误差。因而在实用测量时有必要在溶液中放置一参比电极，并通过参比电极给溶液以确定的电位，如图1-3。 能斯特响应项 与 有关。合并常数项，则有：    此时，A、B均为常数，即漏源电流与溶液离子活度的对数呈线性关系。因为A和B都是和VG、VDS相关的常数，所以必须设计一稳压电路保证VG、VDS恒定不变，才能保证 和 者之间的线性度不受VG、VDS的影响。 ISFET的电化学特性参数 ISFET的基本作用是将溶液中待测离子的活度或浓度转化为电学量输出。这种转换的基本特性及影响转换的主要因素是衡量其性能的主要标志。其中包括线性响应范围、灵敏度、选择性、重复性、温度特性及响应时间等。 1. ISFET的线性响应范围 ISFET的线性响应范围是指器件的输出对待测离子活度的负对数呈线性关系的范围，一般为几个数量级。性能良好的Si3N4膜pH-ISFET的pH值线性响应范围达到1～13。 4. 响应时间 ISFET的响应时间一般定义为ISFET与参比电极同时浸入溶液时算起，到ISFET的敏感膜与溶液达到平衡点时的某一给定值所需的时间。当pH-ISFET浸入某种溶液后，其输出电位随时间在不停变化。这种变化虽随时间而减小，但持续时间很长，故其响应分为快响应和慢响应。前者响应时间极短，其响应幅度为能斯特响应的90%以上；后者持续时间极长，其响应幅度仅为能斯特响应的百分之几。 4. 滞后和重复性 滞后现象是ISFET普遍存在的现象。当试液改变后再测原始浓度的试液时，测出的电位与前一次在同浓度溶液中测的结果不同，这一现象称之为滞后。 重复性表示在同一测量条件下，如采用同一器件，统一测量线路和测量方法及同一温度对被测溶液的pH值进行重复测量时测量结果的一致性。 5. pH-ISFET的时漂 ISFET的漂移是指在一定温度、一定组份的溶液中，由ISFET、参比电极和测量线路构成的测量系统的输出电位随时间的缓慢变化。 时漂的方式有三种： ①平行漂移，即器件灵敏度不变的漂移； ②灵敏度变化的漂移； ③无规则的漂移。 事实上这三种漂移同时存在，但是第一种往往是最重要的。 6. pH-ISFET的温度特性 与其它半导体一样，pH-ISFET本身也受温度的影响；同时，敏感膜与溶液的界面势也是温度和待测离子活度的复杂函数。由此，pH-ISFET的输出会产生温度漂移。 ISFET设计与制造工艺 ISFET的基本测量线路 1 恒流恒压法测量电路 这是一种常用的ISFET测量电路，是一种VDS恒定并通过调节参比电极电位VG以维持漏源电流IDS恒定的负反馈测量电路。主要优点是线路简单、成本低、操作简便，更换新器件时无需调节工作点。缺点是对ISFET的稳定性要求较高，且容易损坏器件。原理图如图3-1。 2 电流法测量电路 当器件工作在线性区时，如果VG、VD、VS在测量过程中维持恒定不变，则IDS与E呈线性关系。所以在电流法测量ISFET时均选在线性区工作。测量原理图如图3-2。其输出电压（VO=-IDSR）与IDS成正比，可用来恒量IDS。 3 源极跟随法测量电路 如果维持ISFET有效栅压中的VG不变，令VS随E而改变，使有效栅压保持不变，同样可以使ISFET的IDS维持恒定不变，这就是源极跟随法。此时应满足： ΔVS=αΔE 式中α为源极跟随系数，它小于并接近于1。由于源极电位随E增加而增加