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激光修复仪
Tel/FAX:0755
激光修复仪
设备简介:
激光修复仪机台结合镭射光学技术,采用精密钢构底座,能提供高稳定、高精度的镭射加
工;配置影像操作系统、精密微调游戏杆手轮操作面板,达到更快速且精确的镭射修补效果;通
过电控操作面板操作 NEWWAVE 激光实现面板玻璃上Au,Ag,Cu,Cr,Al,Mo,ITO 等材料的去除与熔
接连线。
构造结构:
激光修复台由精密马达驱动系统工作机台,激光系统,光学系统,外部配件等模块组成,可
针对样品特定材质层进行短路缺陷修补处理,待加工件采用人工模式取放.
Tel/Fax:0755
工作修复台
镭射修复台均是根据客户 LCD,OLED , 样品实际尺寸大小来定制,最大定制能力为2200mmx2200mm(龙
门架)1100mmX750mm(简易式平台)。
我们的机台设计有下面几个特点:
简易式单臂钢结构平台,龙门式半封闭机台,龙门式全封
闭式机台根据客户样品定制(规格以最终实物为准) 样品台上的尺寸和规格根据客户的样品决定尺寸和
位置。 平台的气浮减震跟气囊减震为(选配)
显微镜光源
100W-150W 暖光可以连续调节。(国产全新日本进口八九成新可选择)
TFT-LCD 激光修复
可以选择 New Wave 的激光加载在显微镜上,根据切割材质(金属,ITO,氧化物等)不同可以选择可见光,
红外和紫外波段。
LCD-70规格
工作台的 X、Y 轴由减速伺服电机+高精度研磨丝杆+线性滑轨组成,通过对设备的精密安装和对伺服电机各
项参数的准确调节,保证系统运动的高精度,并且确保电机运转时的振动达到最小。
平台工作参数:
Tel/Fax:0755
激光系统
EzLaze 3 多波段激光切割系统能够加载在绝大多数应用于失效分析的显微镜上,EzLaze3 可以实现围观层面的
精确切割和选择性材质去除。
New Waves 精密可靠的先进激光传输系统(ABDS)可以选择不同波段应对不同材料裁剪和切割工作。空气冷却结构使
系统更小巧和无需维护。
U.S. Patent #. 5,611,946, 5,811,751, 5,963,364, 5,703,713 Japan Patent #. 3026362
特点
· 可以选择不同波长来应对更大范围的材质切割
· 切割的一致性良好,可重复切割大小从 50µm x 50µm(红外和可见光波段下使用 50x 物镜) 到 2µm x 2µm (使用 100x
物镜)的区域并保持良好的一致性
· 连续快速材质切割(每休息 20 秒可以以 5Hz 频率工作 10 秒)
· 可以通过远端控制面板直观的操作,面板上有 LCD 菜单显示
· 面板上 HI/LO 能量等级控制旋钮可以实现切割能量的大范围精确控制同时保持最佳的光束性能
· 安装方便,无需费力维护,无有毒气体。
操作
EzLaze 操作方便,所有的动作包括输出能量等级,光斑尺寸,波段选择均通过远端操作面板完成,这减少了碰
伤显微镜的机会。
规格
项目 说明
镭射种类 ND:YAG Laser
镭射波长 532nm/ 1064nm
镭射功率(最大输出) 0.6mJ/pulse
发振频率 1 Hz,5Hz (BRUST模式)
冷却方法 风冷式
输出能量控制 0~100% ,可选择Hi/Low
Flash Lamp Life time 30,000,000 shots (三千万次)
镭射发振器保固期 1 年
界面
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