微量量气体分析仪rga应用于真空舱残气分析.pdf

微量氣體分析儀(RGA)應⽤於真空艙殘氣分析 毅泰成科技股份有限公司 吳柄村 date: Oct-20-2017 ETai Technology Confidential RGA在熱真空腔測試(thermal-vacuum test)應⽤ 進入太空中的任何太空航具⽽⾔釋氣(outgassing)是⼀種挑戰。釋氣將會污染光學或檢測器， 造成太陽能電池功率降低等等影響，因此熱真空腔測試(thermal-vacuum test)被頻繁地⽤在 太空載具⼯程的領域中。 常⾒的釋氣(outgassing)來源包含了⽔氣(Moisture)、密封膠(Sealant)、潤滑劑(Lubricant)與 黏合劑(Adhesive)等等，即使是⾦屬和玻璃也可以從裂縫或雜質中釋放出氣體。在熱真空腔 測試中殘餘氣體分析儀(RGA)常被使⽤的儀器之⼀，⽤來檢測這些釋氣成分與濃度 。 ETai Technology Confidential 關於殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer ; RGA) 殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer ; RGA)被應⽤於真空領域已超過三⼗多年是，業界 與學界⽤來了解真空系統內氣體分布的變化與含量，廣泛應⽤於真空系統測漏、製程氣體分 析、熱脫附(thermal desorption)、氣體濃度分析等⽬的。近年來RGA已逐漸與各半導體製 程設備相結合，其⾓⾊也已轉變成屬於⽣產線設備之⼀環。 市⾯上可⾒的RGA，皆屬於使⽤四極管作正離⼦篩選的質譜儀。它主要包括了偵測頭 (Sensor)、電⼦控制箱(Electronic Box)與控制顯⽰器(PC)。 ETai Technology Confidential RGA原理概述 偵測頭(Sensor)包含了三個 主要元件，分別是離⼦源 ( Ion Source)、四極管 ( Quadrupole Mass Filter) 及離⼦電流偵測器(Ion Current Detector)。  操作原理是將真空室內所有氣體分⼦，透過離⼦源(Ion Source)內的燈絲(Filament)將氣體離 ⼦化，並將產⽣的正離⼦導進四極管內。進入四極管內的正離⼦，因四極管( Quadrupole Mass Filter)本⾝以直流及交流電位互相交錯⽽產⽣的共振電場，對具有不同質荷比(mass- to-charge ratio) 的正離⼦進⾏篩選。具有相同共振現象的離⼦以穩定螺旋軌跡通過篩選以 進入離⼦電流偵測器(Ion Current Detector)，此時偵測器就能偵測到該質荷比的離⼦訊號， 進⽽透過軟體換算成氣體分壓。 ETai Technology Confidential RGA應⽤範例 ~ 熱真空腔測試與產業案例 ~ ETai Technology Confidential 加⼯部品污染物偵測 下圖顯⽰不鏽鋼加⼯件放置於真空測試腔⼗⼩時後，與真空腔背景值之RGA圖譜比較。顯⽰該 不鏽鋼加⼯件在Mass50之後的釋氣(Outgassing)，相較於腔體背景值釋氣仍相當多，代表該 不鏽鋼加⼯件可能沒有良好的清潔(Clean)，加⼯過程中的污染物隨著該加⼯件進入了測試腔 體內。 在熱真空腔體內測試之零組件，若含有⼤量的污染物進入測試腔體，有可能也會污染熱真空腔 體，造成背景值過⾼的現象。 ETai Technology Confidential FOMBLIN Z25 真空潤滑油污染物 Fomblin Z25 真空潤滑油(greases)由於其良好的性能，如低脫氣(low outgassing)，⾼黏度指 數(viscosity index)和寬的⼯作溫度範圍，廣泛應⽤於太空元件與真空產業中。但由於真空潤 滑油(greases) 使⽤不當⽽造成真空污染，下圖顯⽰真空腔體內殘留的真空潤滑油。 Fomblin Z25 major component is Perfluorooctane (C8F18) ETai Technology Confidential 真空潤滑油Mass69 (CF3)污染物偵測 下圖顯⽰製程腔體更換某零件後，R