微保险丝制造与测试fabricationandtestofmicrofuses中华科技大学.pdf

Journal of China University of Science and Technology Vol.60-2014.10 微保險絲製造與測試 Fabrication and Test of Micro Fuses 陳育堂1 謝宏榮 2* 康尚文3 Yu-Tang Chen Hung-Jung Shei Shung-Wen Kang 1 德霖技術學院機械系副教授 2* 中華科技大學機械工程系副教授 3 淡江大學機械與機電工程學系教授 1De Lin Institute of Technology 2*China University of Science and Technology 3Tamkang University 摘 要 本研究利用濕蝕刻製程技術在環氧玻璃感光電路板上製作完成微銅保險絲 ； 保險絲結構尺寸長為 600 μm ，寬為 80 μm ，銅層厚度為 30 μm 。並利用 ANSYS 軟體對微保險絲進行數值模擬研究 ，以不同的輸入電流來預測溫度的變化 ；另藉 由蝕刻時間的控制來獲得保險絲截面尺寸 。實驗時 輸入電流以， 0.1 安培為增加間 隔 ，直到保險絲之熔斷電流止 ，並擷取溫度與電壓的變化以完成保險絲的熔斷特 性。實驗結果顯示量測溫度和模擬的數據一致 。且所製作完成之三種額定電流1.15 安培、1.60 安培及 2.10 安培的微保險絲 ，在額定電壓 3.6伏特中皆測試通過國際 標準安全規格 。 關鍵詞 ：環氧玻璃 、濕蝕刻、微保險絲 、ANSYS Abstract This paper presents a micro copper fuse developed on a glass epoxy plate using wet etching technology. The fuse structure has a length of 600 μm and a width of 80μm. The thickness of the copper layer is 30μm. Numerical simulation was studied with ANSYS software to predict the temperature distribution of the micro fuse with variable input current. Different micro fuse cross sectional areas were obtained by controlling the etching time. The fuse characteristics were evaluated experimentally using input power to the blowing current at 0.1 A increment. Measured temperature showed good 39 微保險絲製造 與測試 agreement with the simulation data. Under sa