微磨料水射流加工技术的发展-2007-07-11修改-发表版.docVIP

微磨料水射流加工技术的发展* 程谟栋1 王成勇1徐晓东2 （1.广东工业大学机电工程学院，广州 510090） （2.中科院广州能源研究所，广州 510640） 摘要　微磨料水射流的射流直径在10μm-100 μm之间，适宜对硬脆材料、复合材料等难加工材料进行加工。目前其加工精度已达到相当于激光加工技术的水平。介绍了、、主要参数对加工性能的影响部分应用示例提出了微磨料水射流加工技术中有待进一步深入研究的工作。 关键词 微磨料水射流；射流生成方式；装置 Development of Micro Abrasive Water Jet Machining Technology ChengModong1 Wang Chengyong1 Fan Jingming1 Xu Xiaodong2 (1. Guangdong University of Technology, Guangzhou 510090, China） (2. Guangzhou Institute of Energy Conversion Chinese Academy of Sciences, Guangzhou 510640, China)Abstract Micro Abrasive Water Jet (MAWJ) works with the jet diameters from 10μm to 100μm. MAWJ retains the unique capabilities of the conventional abrasive water jet but at the micro level, particularly for machining hard material, and composite material, etc. Now the machining precision of MAWJ has approached the level of laser machining. The MAWJ generation methods, key technologies for designing MAWJ device, effects of the major process parameters on the cutting performance together with some examples of application are introduced and discussed. And the further research on MAWJ technology is proposed. Keywords Micro abrasive water jet; Water jet generation methods; Water jet equipments 1 前言 工业陶瓷、高性能复合材料等以其优良的性能越来越受到重视，微小机电系统、光电子元件及医疗器械对微细加工（包括精密切削和钻孔）的需求及其产值也在不断增长[1-2]。用于微细零件的材料，如工业陶瓷、光学玻璃、电子芯片、聚合物多具有高硬度、高脆性和高熔点等特点，使用激光等传统的加加工效率、精度和加工质量 [3-5]。微磨料射流技术需，并成为近10年来发展最快的特种加工技术之一。 *广东省科技计划项目(2004资助 Micro Abrasive Jet Machining - MAJM）及微磨料水射流技术（Micro Abrasive Water Jet Machining - MAWJ）微磨料气射流脆性微磨料气射流由于加工的锥角，不宜进行钻孔作业和大厚度切割工件上造成磨料颗粒的沉积，加工效率 [6-8]。微磨料水射流是在磨料水射流技术的基础上发展起来的一种全新的微型加工技术，低压前混合射流直径在10μm-100μm之间[9]。MAWJ保持了常规磨料水射流加工不改变材料的力学物理性能无热影响区、具有许多的功能和特点微磨料水射流磨料尺寸更小含量更低，切割速度和切深都比常规磨料水射流低适合对微小进行精密钻孔、切割加工。 研究现状 MAWJ的研究尚处于起步阶段国外有关MAWJ的研究工作主要集中在英国[11]、美国[12]、澳大利亚[13-14]、欧盟等[15]，。Miller、Hashish等对MAWJ的生成方式进行了研究和探索[11,16]，Miller、Wang Jun等都已设计出试验平台并进行了部分钻孔、切割等试验[11,13-14]。黄传真等对喷嘴内部流场进行了仿真研究[17]，王建生等对小喷嘴磨料水射流进行了仿真与试验研究[18-19]，为进一步研究微磨料水射流工作打下基础。表1列出了目前实验室和生产中切割（钻孔）加工