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高阶扫描探针显微镜的工业应用实例–新颖表面特性辨识材料世界网
工業材料雜誌
高階檢測分析 349期
技術專題 2016/01
高階掃描探針顯微鏡的工業應用實例–
新穎表面特性辨識技術
The Application of High Level SPM for Industrial Examples—
A Novel Technology for Identification of Surface Property
高豐生F. S. Kao1 、朱仁佑J.Y. Chu2
「
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工研院材化所(MCL/ ITRI) 研究員 、資深研究員」
新型態掃描模式的發明讓原子力顯微鏡(Atom Force Microscope; AFM)的功能大幅提升 ，已經
可以得到與形貌解析度相近的表面力學特性 ，如變形量 、軟硬度 、黏性等。除了基本的物理
力學特性外 ，在探針表面修飾不同的化學分子 ，讓AFM具有化學辨識特性 ，為分子辨識力
顯微鏡(Molecular Recognition Force Microscope; MRFM) 。工研院材化所獨有的功能性探針修
飾技術 ，可以辨識奈米尺度的親疏水性 、電荷分布 、沾黏特性及官能基等分子間的作用力分
析 ，為AFM的應用性開創更廣泛的道路。
The functions of atomic force microscopy have been improved with a novel scanning mode coming
out. The mechanic property images can be obtained at the same time without compromising
highest resolution. By modifying AFM tips with functional groups, the recognition of specific
surface properties is achieved, that is molecular recognition force microscopy. ITRI Material and
Chemical Research laboratories had developed several functional tips which can distinguish
hydrophilic or hydrophobic surfaces, surface charge distribution, antifouling efficacy and so on.
The new AFM has become a versatile tool in the field of surface character analysis.
關鍵詞/Key Words
原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy; AFM) 、探針修飾(Probe Modification) 、分子辨識力
顯微鏡(Molecular Recognition Force Microscopy; MRFM)
前 言 糙度的判定 。目前主流的AFM是以懸臂偵
測探針與樣品間的作用力 ，只要與 「力」有
以往原子力顯微鏡(Atomic Force Micros- 關的資訊都可以被記錄下來 ，因此過去也
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