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洁净室调试方案 XX公司 XXX 提要：介绍了洁净室的测试项目及步骤，目的使其测试数据满足设计参数，达到生产需求条件。 关键词 测试步骤 测试项目 Clean room testing and commissioning project Young’s Engineering Company Ltd LiMingGang Abstract introduce the clean room testing items and procedure, To Proof the equipment fulfill manufactory standard and design Condition. Keywords testing procedure testing items 在测试洁净室之前，若是能对洁净室测试规范有所了解，能够对测试有所帮助。但每一种行业，每一家公司对洁净室的要求可能不一样，各公司在制定定测试规范时，应依照自己的制程要求,从规范里取出自己适用的部分，要求供应商与测试单位照办，必要时可酌情修改测试的标准，以满足自己的需求。 一 洁净室常用名词 洁净室定义：洁净室是一个为了对空间空气的微粒做控制，所建造的特殊封闭建筑。 微粒控制：洁净室微粒控制第一步，是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析，然后针对分析结果，制定恰当的微粒控制方案 与洁净室管理模式，以控制微粒污染，粒径和其数量对制程影响 是有用的数据。 3． 外来污染源：从洁净室外进入系统的污染源，外来污染源主要是 由空调通风系统所导入，另外门.窗.墙壁裂缝等也是外来污染源。 内部污染源：洁净室内部污染的来源，一般是制程机器与操作 员工，最严重污染源是操作员工。 层流型气流：气流以同一方向移动，这种无尘室称为层流型洁净 室。一般高洁净度的洁净室需要层流型气流。 乱流型气流：气流方向不受控制，这种无尘室称为乱流型洁净室， 洁净度低要求可用乱流。 二． 调试人员 必须经过洁净室等级培训的人员，并且有两年以上的工作经验。 调试工具 BCJ—1型尘埃粒子记数器（0512—6291193）。 电子式温湿度计TES—1360。 水银干湿球温度计。 照度计TES—1330/1332/1334 风速表(热反应风速计用与低速) 噪音表 微差压计 电流表 万用表 高压冲水枪 绝缘表 调试步骤 准备工作 熟悉图纸核对各项设备铭牌与设备表是否相符。 清楚调风阀，调水阀，排气阀，泄水阀，各项设备安装位置。清楚各项管道布置与图纸是否相符。 清楚楼宇控制方案，控制等级。温湿度传感器及各项控制元件安装具体位置。 熟悉各个配电箱安装位置，控制图纸。校核接触器型号，线径及过载器范围。 测试步骤 风系统 开机前需保证无尘室清洗工作必须完成，风管清洗必须完成。空气处理机清洗必须完成，确保每一个风阀处于全开状态，中初效过滤网安装完毕，然后调整风阀使每一个风口都有风出。 水系统 水泵，水塔启动 使冷冻水，冷却水水管充满水，末端连通.启动冷动泵，冷却泵,水塔风扇使设备达到额定，流量，扬程，电流。 管道 a.加清洗药，除去油污，焊渣，并清洗过滤器 b.加成膜药 启冷冻主机，热泵机 a.检测机组是否自动加减负荷 b.检测机组满负荷运转，能否达到设计水温 3.空气压缩机 a.确保空气压缩管道试压成功无泄漏，用氮气吹洗管道。 b.压缩机散热 ①水冷管道必须完成 ②风管散热必须完成 c.除湿机。干燥过滤器，稳压罐，压力控制器，安全阀全部调试完成。 保证压缩出的气体是高压，干燥的气体。 4.楼宇自动控制 必须保证配线，接线的测试工作完成 保证控制元件的安装完成 配合控制厂家调试并检试程序是否正确。温湿度控制是否准确，做好调试报告。 5.洁净室检测 空气处理机开机大约一星期后，然后安装HEPA（高效过滤器）。运转三天后再进行检测。 一、范围： 洁净项目与业主合约有规范者，依其规范办理，若与业主合约无规范者，可按下例项目测试。（表一） 项目 测试 项目 AS--BULIT CLASS 1.10 100.1K 10K 100K AT REST CLASS 1.10 100.1K 10K.100K OPER AT30N CLASS 1.10 100.1K 10K 100K 备注 A 风速，风量测试 O O O — — — — — — +-20% B 气流平行度 O O O — — — — — — 少于14度 C 室压核测 O O O Δ — — — — — 标定 D 滤网泄漏检测 O — — — — — — — — 无泄漏 E 洁净度