【精选】2013-刘忠范-石墨烯的化学气相沉积生长与过程工程学研究_邹志宇.pdfVIP

中国科学: 化学 2013 年 第43 卷 第1 期: 1 ~ 17 SCIENTIA SINICA Chimica SCIENCE CHINA PRESS 自然科学基金项目进展专栏 评 述 专题论述 石墨烯的化学气相沉积生长与过程工程学研究 邹志宇, 戴博雅, 刘忠范* 北京大学纳米化学研究中心, 北京大学化学与分子工程学院, 北京 100871 *通讯作者, E-mail: zfliu@ 收稿日期: 2012-06-05; 接受日期: 2012-06-24; 网络版发表日期: 2012-08-09 doi: 10.1360/032012-340 摘要 石墨烯作为由 sp2 杂化的碳原子键合而成的二维原子晶体, 其独特的能带结构和优 关键词 良的电学、热学和力学性质一直吸引着人们的广泛关注, 并有望在未来的半导体工业中得到 石墨烯 控制生长 实际应用. 然而, 高质量石墨烯的大规模可控制备仍然存在着诸多挑战性的问题, 也是石墨 化学气相沉积 烯工业化应用的瓶颈所在. 化学气相沉积(CVD)技术在大面积生长高质量石墨烯方面拥有独 催化剂 特的优势, 已成为石墨烯生长领域的主流技术. 我们近年来一直致力于发展石墨烯的CVD 生 过程工程学 长方法, 通过对表面催化生长的基元步骤的设计与控制, 实现了对石墨烯的结构和层数的有 效调控, 并形成了CVD 生长的过程工程学指导思想. 本文从对石墨烯的CVD 生长机理的分 析入手, 系统介绍了我们开展的过程工程学研究, 并对该领域的未来发展趋势以及所面临的 机遇和挑战进行了简要的展望. 1 引言 的二维原子晶体. 随后人们发现, 石墨烯拥有众多其 他材料难以比拟的独特性质. 例如, 本征石墨烯作为 人类文明和科学技术的进步常常建立在新材料的 高度结晶性的零带隙半导体, 其导带和价带在狄拉 发现和材料获取手段的提升之上. 从古代的金属、陶 克点处重合, 具有双极性的电场效应. 在狄拉克点附 瓷到现代的高分子科学, 从硅基半导体工业到光纤 近, 电子具有无质量的狄拉克费米子行为, 能量与动 通讯, 从超导材料到新能源技术, 都是这方面的典型 量满足线性色散关系, 载流子在室温下表现出亚微 [1, 2] 例证. 石墨烯作为材料科学领域一颗耀眼的新星 , 米级的弹道输运特性和超高的迁移率, 使得石墨烯 或许在不远的将来, 也会扮演这种推动人类文明和 可以应用于高频场效应晶体管中, 成为继碳纳米管 社会进步的发动机的角色. 之后又一个有望在未来半导体工业中得到广泛应用的 2 [4~6] 单层石墨烯是由sp 杂化的碳原子所键合而成的 电子学材料 . 石墨烯由于其独特电子结构, 在室温 具有六边形蜂窝状晶格结构的二维原子晶体. 作为 下即可观察到量子霍尔效应的存在, 并可以作为研究 构建所有以 sp2 杂化碳为骨架的材料的基本单元, 其 量