ITO岗位认证试题甲卷(C).docx

ITO认证笔试试卷姓名工号成绩一、填空题（60分）ITO中文名称为氧化铟锡。ITO目前生产过的产品为Banana，尺寸为550*650mm，此产品要求ITO方阻为金属面80-110Ω/□，非金属面75-105Ω/□，透过率规格是≧86%，百格测试规格是≧4B。ITO Coater 目前有7段腔体，其中有加热的腔体有5段，分别为：HVLLC2、VBC3、VPC4、VPC5、VBC6，其中HVLLC2加热的温度为330℃。ITO 满负荷生产Banana时台车数量为21台，cycle time 为60S，UPH为240。ITO共有干泵、罗茨泵、分子泵三种泵浦ITO方阻跟功率、镀膜速度有关，功率越大，方阻越小；镀膜速度越快，方阻越大。ITO制程用到的2种气体为：Ar（氩气）、O2（氧气）测漏用到的仪器叫测漏仪，用到的气体为：氦气（He）PolyCold的制冷温度为小于-120℃分子泵是在高抽的时候开启的。开始加热之前要确保所有冷却水开启。ITO Coater台车用到的夹扣有上夹扣、下夹扣、侧夹扣。要破真空之前要确保加热电源、靶材电源、RGA关闭手动破真空之前要把要开启的腔体的螺丝全部取下来镀膜用到的特气阀门要保持常开状态二、选择题（20分）1、产品的区域划分为（ A ）。A、无效区和有效区 B、内部区和外部区 C、使用区和边缘区 D、中央区和周边区2、外观检验台的背景颜色为（ C ）。A、白色B、绿色 C、黑色D、黄色3、附着力的规格为≥（ D ）。A、1B B、2B C、3B D、4B4、ITO是什么靶（ B ）。A、金属靶B、陶瓷靶C、塑料靶D、纤维靶 5、CDA指的气体为（C） A、氦气 B、氧气 C、高压气 D、氩气 6、ITO靶材成分主要为 （D ）A、氧化铟鏑 B、Si C、Al D、氧化铟锡8、ITO用于高抽的泵浦为（ D ）A、干泵 B、罗茨泵 C、扩散泵 D、分子泵9、ITO Coater正常冷却水压为 （ B）A、0.2MP B、0.4MP C、0.6MP D、0.8MP10、ITO正常CDA压力为（C）A、0.2MP B、0.4MP C、0.6MP D、0.8MP三、判断题（10分）1、裂纹缺陷允许存在。（ X ）2、ITO靶材可以直接打到所需功率（ X ）3、ITO靶材打靶时可以不用开冷却水（ X ）4、腔体挡板、台车挡板用久了后需定时送出喷砂清洁（√）5、更换靶材前需用气将靶材中冷却水吹干后方可松螺丝开始换靶（√）6、ITO加热电源关闭后可以直接破真空（ X ）7、Table段警告灯闪烁时可以挂玻璃（ X ）8、破真空前需确保加热电源关闭（√）9、ITO挡板玻璃可以用蚀刻不良的玻璃（ X ）10、ITO换靶保养完后要用万用表测量靶材是否导通（√）四、简答题（10分）1、简述ITO Coater 手动开机流程1、打开所有冷却水，确保进水，回水感应正常2、确认传动系统停止，破气阀关闭，VGV腔门关闭3、打开自动抽真空按键4、真空抽到5E-3开始跑台车5、开启加热按键6、打靶2、简述ITO Coater 手动关机步骤1、关闭靶材、加热电源开关，保存后关闭RGA软件，并拔下数据线2、松开并取下需开启的腔门及Cathode固定螺丝，取下Cathode上靶材电源插头3、关闭分子泵4、停止传动系统5、分子泵完全停止转动且阀门关闭后开始除霜，除霜完毕后关闭罗茨泵和干泵5、按下自动破真空按键