mems电容式三维微触觉测头设计及校准-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 ２１ １２ 　 Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．１２ 　 　 　　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１３ １２ Ｄｅｃ．２０１３ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１３１２３０８７０８ 　 ＭＥＭＳ电容式三维微触觉测头设计及校准  吴俊杰 ，李 源，李东升，卢 歆，何明轩 　 　 （ 中国计量学院 计量测试工程学院，浙江 杭州 ； １． ３１００１８ ２．上海市计量测试技术研究院 微米纳米计量实验室，上海２０１２０３； ３．上海交通大学 微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室，上海２００２４０） 摘要：由于微纳米几何量计量很难以三维方式高精度地测量较大尺寸的器件，本文基于非硅 ＭＥＭＳ工艺，开发了一种可 用于微纳米尺度三维尺寸测量的电容式微触觉测头。利用电容频率测量法实现了微弱电容信号的采集。采用宏微结合 驱动方式，设计了运动范围为 ２５ｍｍ×２５ｍｍ×１０ｍｍ，单轴 １２ ｍ范围内定位精度达 １ｎｍ的三维微位移平台。最后， μ 对测头的测量范围、线性、迟滞及分辨力进行了测试。结果表明，测头的轴向测量范围为 ４．５ ｍ，横向测量范围大于 ５ μ μｍ，轴向分辨力优于 １０ｎｍ，横向分辨力优于 ２５ｎｍ，线性较好。开发的测头结构简单、分辨力高、体积小、成本低，可集 成到纳米测量定位平台（ ），完成具有大范围、亚微米或纳米级精度要求的测量任务。 ＮＭＭ 关 键 词：微触觉测头；微电容传感器；微机电系统；校准装置；纳米测量机 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＢ９２ＴＰ２１２．９ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ３０８７ 　　 　　 犇犲狊犻狀犪狀犱犮犪犾犻犫狉犪狋犻狅狀狅犳３犇犿犻犮狉狅狋犪犮狋犻犾犲 犵 狉狅犫犲犫犪狊犲犱狅狀犕犈犕犛犮犪犪犮犻狋犪狀犮犲狊犲狀狊狅狉 狆 狆  ， ， ， ， ＷＵＪｕｎｉｅ ＬｉＹｕａｎ ＬｉＤｏｎｓｈｅｎ ＬｕＸｉｎ ＨｅＭｉｎｘｕａｎ ｊ ｇ ｇ