[化学]第八章 电子光学基础.pptVIP

第二篇 电子显微分析技术 第八章 电子光学基础 光学显微镜和电子显微镜的基本光学原理是相似的，它们之间的区别仅在于所使用的照明源和聚焦成像的方法不同，前者是可见光照明，用玻璃透镜聚焦成像，后者用电子束照明，用一定形状的静电场或磁场聚焦成像。 §8－1 光学显微镜的局限性 §8－2 电子的波性及波长 §8－3 电子在电磁场中运动和电子透镜 §8－4 电子透镜缺陷和分辨率 §8－5 电磁透镜的景深和焦深 §8－1 光学显微镜的局限性  1、一个世纪以来人们一直用光学显微镜来揭示材料的微观结构，但光学显微镜的分辨能力有限的。 由于光的衍射，使得由物平面内的点O1 、 O2 在象平面形成一B1 、 B2圆斑（Airy斑）。若O1 、 O2靠的太近，过分重叠，图象就模糊不清。 电磁波谱：电磁辐射按波长顺序排列，称~。 γ射线→ X 射线→紫外光→可见光→红外光→微波→无线电波 利用紫外线　　　强烈的吸收 X射线　　　　　没有办法使其聚焦 A 对于光学显微镜，N.A的值均小于1，油浸透镜也只有1.5—1.6，而可见光的波长有限，因此，光学显微镜的分辨本领不能再次提高。 B 提高透镜的分辨本领：增大数值孔径是困难的和有限的，唯有寻找比可见光波长更短的光线才能解决这个问题。 在电子显微镜中 §8－3电子在电磁场中运动和电子透镜 一、电子在静电场中运动和静电透镜 电子是带负电粒子，电子波在静电场或磁场中运动，与光波在不同折射率的介质中传播比较，具有相似的光学性质。 1．静电场与电子光学折射定律 静电场—相对于观察者为静止的，不随时间变化的电场。 电子光学折射定律： Sinθ/Sinγ=（V2/V1）1/2=λ1/λ2 二、 电子在磁场中运动和磁透镜 1．电子在磁场中运动 2．磁透镜 把能使电子波聚焦的具有旋转对称非均匀的磁极装置叫做磁透镜。 3．电磁透镜特点： ① 能使电子偏转会聚成像，不能加速电子； ② 总是会聚透镜； ③ 焦距、放大倍数连续可调。 在电磁透镜中，球差对分辨率的影响最为重要，因为没有一种简便的方法使其矫正过来。而其他像差在设计和制造时，采取适当的措施可以消除的。 平面B PA 透镜平面 物 P 光轴 PB fA 平面A 图 象散 3）色差 电子的能量不同，从而波长不一造成的，电子透镜的焦距随着电子能量而改变，因此，能量不同的电子束将沿不同的轨迹运动。产生的漫散圆斑还原到物平面，其半径为 是透镜的色差系数，大致等于其焦距， 是电子能量的变化率。 引起电子束能量变化的主要有两个原因：一是电子的加速电压不稳定；二是电子束照射到试样时，和试样相互作用，一部分电子发生非弹性散射，致使电子的能量发生变化。 使用薄试样和小孔径光阑将散射角大的非弹性散射电子挡掉，将有助于减小色散。 能量为E的 电子轨迹 象1 透镜 物 P 光轴 图 色差 能量为E- E的 电子轨迹 象2 Pay Attention! 电磁透镜分辨率理论分辨距离 光学显微镜的分辨本领基本上决定于象差和衍射，而象差基本上 可以消除到忽略不计的程度，因此，分辨本领主要取决于衍射。 电子透镜中，不能用大的孔径角，若这样做，球差和象差就 会很大，但可通过减小孔径角的方法来减小象差，提高分辨本领， 但不能过小。 显微镜的分辨极限是 电镜情况下， ， 因此 可见，光阑尺寸过小，会使分辨本领变坏，这就是说，光阑的最 佳尺寸应该是球差和衍射两者所限定的值 相对应的最佳光阑直径 式中的f 为透镜的焦距。将 代入（1-15）可得 目前，通用的较精确的理论分辨公式和最佳孔径角公式为 将各类电镜缺陷的影响减至最小，电子透镜的分辨本领比光学透镜提高了一千倍左右。 返回 * * * * 第八章 电子光学基础 2、最小分辨距离计算公式： d指物镜能够分开两个点之间的最短距离，称为物镜的分辨本领或分辨能力； λ为入射光的波长； n为透镜周围介质的折射率 a为物镜的半孔径角 1　对于可见光的波长在390~770nm之间 2　N?A值均小于1，最大只能达到1.5~1.6 光学显微镜其最大的分辨能力为0.2m 增大N?A值是有限的，解决的办法是减小波长λ O1 O2 d L B2 B1 Md 强度 D 图（a）点O1 、 O2 形成两个Airy斑；图（b）是强度分