CF制程简介.ppt

Color Filter的制程介绍 For : NBLCM F.A. Team Author: Jessica _ Lin Date:2009/1/8 目录: 1.何谓Color Filter 及应用 2.制程流程图 3.制程顺序简介 4.补充说明: (1).色彩搭配 (2).TFT-LCD基本架构 (3).TFT_LCD产业架构 说明: Color Filter(彩色滤光片)是组成液晶面板中最重要的关键零组件:占TFT-LCD面板制造总成本约28%，制造生产方式是在素玻璃基板上用红、绿、蓝色的光阻液原料,用黄光蚀刻方式或是其它技术(如颜料分散或转印方法)形成与红、绿、蓝三原色的长条形数组的基板。当背面的光源穿透每一个画素(pixel)内的红、绿、蓝滤光片与被电路驱动呈现灰阶的液晶后，会变成有不同比例的三种原色(RGB)之混合光。肉眼所看到的彩色影像就是光透过一个个有滤光片的液晶小格子变成之混合光组成的结果。所谓的TFT-LCD面板制造，简单的说，就是将一片彩色滤光片和一片有主动矩阵(Active Matrix)的玻璃基板组合，灌入液晶后两边贴上偏光板，再加上驱动电路及框架的过程。 CF制作流程图 黑色矩阵制程(BM patterning process) ITO制程(ITO sputtering process) THE EDN 补充说明: 1.色彩搭配 * Color Filter的应用 彩色滤光片目前广泛的应用在: 1. 薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD) 2. 超扭转像列型液晶显示器(STN-LCD) 3. 电浆显示器(PDP)等平面显 Unpacker Initial cleaner 铬膜溅镀 铬玻璃清洗 正光阻涂布(1) 素玻璃投入 1.Cr sputtering 铬玻璃 正光阻涂布(2) Cr sputter Cr glass Pre-cleaner Slit coater Spin coater 2.BM photo line 蚀刻 去光阻 紫外线曝光 显影 烘烤 去掉边缘光阻 EBR(Edge Bead Rinse) Aligner Developer Hot plate 3.Etching line Etching Stripping BM pattern glass 真空干燥 Vacuum Dryer 预烘烤与冷却 Pre-bake Cool plate RGB制程(RGB process) 红色光阻涂布(1) 红色光阻涂布(2) Pre-cleaner Slit coater Spin coater BM pattern glass清洗 紫外线曝光 显影 去掉边缘光阻 EBR (Edge Bead Rinse) Aligner Developer 烘烤 Oven 1.R Line 真空干燥 Vacuum Dryer 预烘烤与冷却 Pre-bake Cool plate Defect insp. RGB制程(RGB process) 绿色光阻涂布(1) 绿色光阻涂布(2) Pre-cleaner Slit coater Spin coater R glass清洗 紫外线曝光 显影 去掉边缘光阻 EBR (Edge Bead Rinse) Aligner Developer 烘烤 Oven 2.G Line 真空干燥 Vacuum Dryer 预烘烤与冷却 Pre-bake Cool plate Defect insp. RGB制程(RGB process) 蓝色光阻涂布(1) 蓝色光阻涂布(2) Pre-cleaner Slit coater Spin coater R,G glass清洗 紫外线曝光 显影 去掉边缘光阻 EBR (Edge Bead Rinse) Aligner Developer 3.B Line 真空干燥 Vacuum Dryer 预烘烤与冷却 Pre-bake Cool plate Defect Inspection 缺陷检查机 ITO pre-cleaner 氧化铟锡膜溅镀 R,G,B璃投入 ITO玻璃 ITO sputter ITO glass Repair UV asher 紫外线灰化 修补 烘烤 Oven MVA制程(Multi-domain Vertical Alignment) 正光阻涂布(1) 正光阻涂布(2) Pre-cleaner Slit coater Spin coater ITO glass清洗 紫外线曝光 显影 去掉边缘光阻 EBR (Edge Bead Rinse) Aligner Developer 烘烤 Oven 4.S Line 真空干燥 Vacuum Dryer Pre-bake Cool plate 预烘烤与冷却 Defect