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第6章 压电传感器 ; ;6.1 压电式传感器的工作原理; 压电传感元件是力敏感元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量，例如动态力、动态压力、振动加速度等，但不能用于静态参数的测量。 压电式传感器具有体积小、质量轻、频响高、信噪比大等特点。由于它没有运动部件，因此结构坚固、可靠性、稳定性高。 ;6.1.1 压电效应;逆压电效应 是指当在电介质的极化方向施加电场，这些电介质就会在一定方向上产生机械变形或机械压力，当施加的电场撤去时，这些机械变形或机械压力也随之消失的现象。（电致伸缩效应）。 音乐贺卡 ;由于外力的作用，在压电元件上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能完好地保存，即需要测量转换电路具有无穷大的输入阻抗，这实际上是不可能的，所以压电式传感器不能用于静态力的测量。 压电元件在交变力的作用下，电荷可以不断补充，可以供给测量转换电路一定的电流，因此，压电式传感器只适用于动态测量。 ;1.石英晶体;天然形成的石英晶体外形（续） ;石英晶体的压电机理分析;定义： x：两平行柱面内夹角等分线，垂直此轴压电效应最强。称为电轴。 y ：垂直于平行柱面，在电场作用下变形最大，称为机械轴。 z ：无压电效应，中心轴，也称光轴。;（a）不受外力 (b) x轴方向受力 （c）y轴方向受力图6-3 石英晶体的压电效应示意图;当石英晶体不受外力作用时，硅离子和氧离子刚好在正六边形的六个顶角上，也就是说正负电荷是互相平衡的，所以外部没有带电现象，见图6-3（a）；当石英晶体在x轴方向受力时，晶体的极面A上呈现负电荷，晶体的极面B上呈现正电荷，见图6-3(b)；当石英晶体在y轴方向受力时，晶体的极面A上呈现正电荷，晶体的极面B上呈现负电荷，见图6-3（c）。;石英晶体在20～200 ℃内压电系数的变化率小，因而其性能非常稳定，不足之处在于压电系数较小（d=2.31×10－12 C/N）。 因此，石英晶体一般只在标准传感器、高精度传感器或使用温度较高的传感器中使用。;石英晶体切片及封装;石英晶体振荡器（晶振）;2.压电陶瓷; 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，由无数细微的单晶组成。每个单晶粒形成一个自发极化方向一致的小区域即电畴。刚烧结好的压电陶瓷内的电畴是无规则排列，极化方向杂乱无章，其总极化强度为0，此时受力则无压电效应。 ;若让原始的压电陶瓷材料具压电特性，需在一定温度下对它进行极化处理。将这些材料置于外电场作用下，使其中的电畴发生转动，趋向于其本身自发的极化方向与外电场方向一致。极化处理过的压电陶瓷具有良好的压电特性。 ;压电晶体与压电陶瓷的比较： 相同点：都是具有压电效应的压电材料。 不同点： 　　石英的优点是它的介电和压电常数的温度稳定性好，适合做工作温度范围很宽的传感器。 　　极化后的压电陶瓷的压电系数是石英的几十倍甚至几百倍，但稳定性不如石英好，居里点也低。 19世纪末，著名物理家居里在自己的实验室里发现磁石的一个物理特性，就是当磁石加热到一定温度时，原来的磁性就会消失。后来，人们把这个温度叫居里点;1）锆钛酸铅系列压电陶瓷 锆钛酸铅系列压电陶瓷PZT有较高的压电系数（d＝（200～500）?10－12 C/N）和居里点（500 ℃左右），是目前常采用的一种压电材料。 2）非铅系列压电陶瓷 非铅系列压电陶瓷可减少铅对环境的污染。它们的各项性能均已超过含铅系列压电陶瓷，是今后压电陶瓷的发展方向。 ;压电陶瓷外形;3.高分子压电材料 ;高分子压电材料具有以下特点： （1）高分子压电材料是柔软的压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状，经过极化处理后就会出现压电效应。 （2）高分子压电材料不易破碎，且具有防水性，可以大量连续的拉升，制成较大面积或较长尺度的形状，因此，价格便宜。 （3）高分子压电材料的声阻抗约为0.02 Pa·s/m3，与空气的声阻抗有较好的匹配，可以制成特大口径的壁挂式低音扬声器。 （4）高分子压电材料的工作温度一般低于100 ℃，当温度升高时，其灵敏度降低。 （5）高分子压电材料的机械强度不高，抗紫外线能力较差，不适合暴晒，容易老化。 ;高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆;可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板;压电式脚踏报警器;高分子压电薄膜制作的压电喇叭（逆压电效应）; 由压电元件的工作原理可知, 压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时, 当压电元件表面聚集电荷时，相当于一个以压电材料为介质的电容器。;则其电容量为