原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
波带板干涉法检测双曲面
第 卷第 期 光 子 学 报
３９ ４
Ｖｏｌ．３９Ｎｏ．４
年 月
２０１０ ４ Ａ ｒｉｌ２０１０
ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ ｐ
文章编号： （ ）
１００４４２１３２０１００４０７２３５
波带板干涉法检测双曲面
１ ２ ２
权贵秦 ，王刚 ，聂亮
（ 西安电子科技大学 技术物理学院，西安 ）
１ ７１００７１
（ 西安工业大学 光电工程学院，西安 ）
２ ７１００３２
摘 要：针对非球面高准确度检测的难题，设计了基于波带板干涉法的共光路干涉系统 阐述了干
．
涉仪的测量原理，实验中针对曲率半径犚＝１０３．２６ｍｍ，口径 犇＝４０ｍｍ的被测双曲面，设计并制
作了波带板，编制了基于坐标变换的条纹中心法的干涉条纹处理程序，并将测量数据与泰勒 霍普
森轮廓仪进行了比对，实验结果证明了该系统的可行性和先进性．
关键词：非球面检测；波带板；干涉
中图分类号： 文献标识码： ： ／
ＴＮ２４７ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘ０７２３
ｇ
０ 引言 机处理．检测工作简单并能达到要求的检验准确度．
由于波带板的设计制作成本低，光路实现简单，而且
长期以来，非球面的制造和检测技术一直是制 干涉图能很好的反映被测面的面形，所以此方法很
约其得到广泛应用的两大难题 迄今为止，各种非球
． 适用于实际的加工检测中 对于批量生产的非球面
．
［］
面的光学检测方法可以分为三类：干涉法、阴影法、 元件具有很高的实用意义 ３ ．
激光束平移旋转法 干涉法是一种短时间测定整个
．
１ 测量原理
非球面的方法，它灵敏度高，一直是检测非球面的主
要途径 干涉法一般分为传统干涉仪法、计算全息
． 如图 ，波带板（
文档评论（0）