数控机床几何精度检测教学作者李玉兰主编项目四课件项目四任务二课件幻灯片.ppt

任务二 使用激光干涉仪检测数控机床导轨的垂直度 一、用激光干涉仪测量数控机床导轨垂直度的原理 用激光干涉仪测量数控机床导轨垂直度的原理是利用一个共同的基准，分别对两个相互垂直的轴进行直线度测量，得到两个轴的直线度数据，测量软件根据两个轴的直线度数据分析得出垂直度数据。 这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线，操作时首先测量垂直轴的直线度数据，并要求利用光学直角尺来完成，以使直线度反射镜成为两个轴测量的基准。然后测量水平轴的直线度数据，并要求在此次测量中既不能移动，也不能调整反射镜。 垂直度测量的光学原理和直线度测量是相同的，因此直线度测量是基础。垂直度数据分析也是利用两次直线度测量数据再通过测量软件分析得出的。 二、用激光干涉仪测量立式加工中心X轴与Z轴的垂直度1．垂直度测量需要增加的光学元件测量两个垂直轴的垂直度，需要以下光学部件：直线度干涉镜1块、直线度反射镜1块、垂直转向镜1块、大回转反射镜1块、光学直角尺1块（图4-41）。 图4-41 光学直角尺 图4-42 光学直角尺配装垂直转向镜 光学直角尺仅用于垂直度测量,该装置可使激光束偏转90°。使用光学直角尺测量垂直轴的垂直度时，应配装垂直转向镜。使用光学直角尺配带的专用托架，从侧面拧紧固定。垂直转向镜的两个控制旋钮应预调到中间位置，以方便在光路准直时的调节。如图4-42所示。 2．加工中心Z轴与X轴的垂直度测量配置垂直度测量的测量原理就是进行两次直线度的测量，首先进行加工中心Z轴的X轴方向直线度测量，然后在直线度反射镜不移动、不调整的情况下再做一次加工中心X轴垂直方向的直线度测量。（1）加工中心Z轴的X轴方向直线度测量配置如图4-43所示 图4-43 加工中心Z轴的X轴方向直线度测量配置 （2）加工中心X轴垂直方向直线度测量配置如图4-44所示。 图4-44 加工中心X轴垂直方向直线度测量配置 3．第一步：测量加工中心Z轴的X轴方向直线度（1）光学元件的固定与安装1）大回转反射镜和直线度干涉镜的安装如图4-45所示。 图4-45 大回转反射镜和直线度干涉镜的安装 2）光学直角尺和垂直转向镜组，确保与X轴的轴线平行，如图4-46所示。 图4-46 光学直角尺和垂直转向镜的安装 3）安装直线度反射镜。直线度反射镜安装在加工中心左侧一固定位置上，反射镜竖直安装，高度与加工中心工作台等高。测量前应将控制旋钮调整在中间位置，以便在准直光路过程中的调节。在第二步测量，即X轴垂直方向直线度测量时，确保直线度反射镜不移动、不调整，如图4-47所示。 图4-47 直线度反射镜的安装 4）将激光头架设在加工中心的右侧，在测量过程中光学直角尺镜组固定不动；大回转反射镜组安装在加工中心的主轴上，在测量过程中随Z轴移动，如图4-48所示。 图4-48 完整的光学元件配置图 (2)激光头光闸位置（图4-49）。 图4-49 激光头的光闸位置 （3）直线度测量软件的启动（略）。（4）光路的准直 Z轴的X轴方向直线度测量光路准直步骤见表4-13。 表4-13 Z轴的X轴方向直线度测量光路准直步骤 序号 调节步骤 图示 1 激光光束从光闸中间孔射出 2 光学直角尺和垂直转向镜组的安装应确保与X轴的轴线平行，注意垂直转向镜的两个控制旋钮应预调到中间位置，将光靶安装在垂直转向镜上，激光光束从靶点射入，为了确保激光头的水平，可在X轴的行程范围内移动X轴，调节激光头的位置，使激光光束始终能从靶点射入。之后将X轴移动回测量位置取下光靶 3 将光靶安装在大回转反射镜上，调节垂直转向镜上控制旋钮使激光光束从靶点射入大回转反射镜，并在 Z轴行程范围内都能从靶点射入。之后取下光靶，直线度干涉镜旋转圈调至图示位置。手动操作使Ｚ轴下降即将大回转反射镜干涉镜组靠近直线度反射镜组，以便下一步的对准操作。此过程可以利用一块手持小镜子以方便地观察大回转反射镜 4 光束经过大回转反射镜的反射，从直线度干射镜射出两束光至光学直角尺 5 从直线度干射镜射出的两束光落在光学直角尺上窗口中心等距并在中心线上（靠垂直转向镜一侧）约6mm的位置上，两束光经过90度转向后从侧窗口中心线上约6mm的位置上射出，如图所示 6 从光学直角尺侧窗口射出的两束光射到放置在加工中心左侧的直线度反射镜上，调节直线度反射镜的位置，使激光光束入射到直线度反射镜中心等距并在中心线上左侧约6mm的位置上，如图所示 7 从直线度反射镜反射回的两束光再经过光学直角尺的90度反射，之后射入直线度干涉镜，可以借助光靶，入射点如图所示。此过程可精细调整直线度反射镜位置和控制旋钮 8 经过直线度干涉镜后，激光光束合成为一束光，再经过大回转反射镜的反射，光束射入垂直转向镜上窗口，入射点