电子显微镜第五章电子显微术-1.ppt

1.分辨率 扫描电镜的分辨率有两重意义：对微区成分而言，它是指能分析的最小区域；对成像而言，它是指能分辨两点之间的最小距离。 分辨率大小由入射电子束直径和调制信号类型共同决定。 第四节 SEM的主要性能 主要影响因素 电子束斑直径 入射电子束在样品中的扩展效应 成像所用信号的种类 背散射电子分辨率 2.放大倍数 扫描电镜的放大倍率M取决于显像管荧光屏尺寸S2和入射束在试样表面扫描距离S1之比，即 由于扫描电镜的荧光屏尺寸是固定不变的，因此，放大倍率的变化是通过改变电子束在试样表面的扫描幅度来实现的。 3.景深 透镜物平面允许的轴向偏差。 扫描电镜的末级透镜采用小孔径角，可获得很大的景深，它比一般光学显微镜景深大100-500倍。 Df 透镜 象平面 d0 α 物平面 Md0 大的景深不仅使聚焦变得容易，而且对于凹凸不平的样品仍然获得清晰的像，从而增强了像的立体感，使图象易于分析。这也是扫描电镜的一大优点。 SEM对样品的适应性大； 样品应具适当大小； 样品表面应具良好导电性，以防表面积累电荷而影响成像； SEM制样技术中常用真空蒸发和离子溅射镀膜法； 样品表面保持干净、干燥，避免擦伤。 第五节 SEM的试样制备 第五章 扫描电子显微术(SEM) SEM的特点 样品制备较简单，甚至可以不作任何处理。并且样品可以很大，如直径可达10cm以上。 能在很大