电子显微镜第五章电子显微术-2.ppt

扫描电镜衬度的形成:主要利用样品表面微区特征,如形貌、原子序数、化学成分、晶体结构或位向等的差异，在电子束作用下产生不同强度的物理信号，使阴极射线管荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度，获得具有一定衬度的图象。 第六节 扫描电镜衬度像 1.二次电子像 形貌衬度的形成：二次电子产额强烈依赖于入射束与试样表面法线间的夹角? 。如果试样表面是凸凹不平的话，法线与入射束夹角?大的面发射的二次电子多；反之则少。 (a) ? =0° 50? r1 (b) ? =45° 50? r2 ? ? 50? r3 (c) ? =65° r3＞r2＞r1 入射电子在试样表层下50?深度内所经路程随面法线间夹角?的变化 ?B 二次电子产额 图象衬度 ?A ?C 形貌衬度形成原理 形貌衬度的影响因素 电子检测器 电子检测器 检测器 ?B 强度 ?A ?D A B C D IA IB IC ID 2.背散射电子像 成分衬度 背散射电子像的形成：样品表面上平均原子序数Z大的部位产生较强的背散射电子信号，在荧光屏上形成较亮的区域；而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子，在荧光屏上形成较暗的区域，这样就形成原子序数衬度（成分衬度）。 形貌衬度 产额 倾斜角 背散射电子和二次电子的运动路线 背散射电子和二次电子成像对比 二次电子像 背散射电子像 背散射像的获得 背散射电子探测器和信号处理 a)成分有差