双极式静电吸盘测试环境及吸附力之探讨.pdfVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 雙極式靜電吸盤測試環境及吸附力之探討 計畫類別：個別型計畫 計畫編號：NSC91-2622-E-002-012-CC3 執行期間：91年06月01日至92年05月31日 執行單位：國立臺灣大學應用力學研究所 計畫主持人：楊照彥 報告類型：精簡報告 處理方式：本計畫為提升產業技術及人才培育研究計畫，不提供公開查詢 中 華 民 92年10月22日 國 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 「雙極式靜電吸盤測試環境及吸附力之探討」 計畫編號：NSC 91-2622-E-002-012-CC3 執行期限：91年6月1日至92年5月31日 主持人：楊照彥 台灣大學應用力學研究所 一、中文摘要 之關係以及其吸附效應。 本計畫建立一雙極靜電晶片吸盤和其相三、靜電吸盤吸附力探討 關特性之測試實驗系統並應用泛用型計算 軟體