自动检测技术教学课件作者3版宋文绪第三章幻灯片.pptVIP

3.5 电容式压力传感器 3.5.1 电容式传感器的工作原理 电容式传感器有三种基本类型：变极距型、变面积型、变介电常数型。 1、变极距型电容传感器 3.5 电容式压力传感器 2、变面积型电容传感器 3、变介电常数型电容传感器 3.5 电容式压力传感器 3.5.2 差动电容传感器 在实际压力测量中，常使用差动点电容传感器，不但提高了灵敏度，也改善了非线性。 3.5 电容式压力传感器 3.5.3 测量电路 电桥电路、调频电路、脉冲调宽电路和运算放大器式电路等。 1、桥式电路 空载电压为： 3.5 电容式压力传感器 2、紧耦合电桥电路 紧耦合电桥理论可得此状态下输出电压 在两L0非耦合情况下， 输出电压为： 3.5 电容式压力传感器 3、差分脉冲调宽电路 差动脉冲调宽电路属脉冲调制电路。它利用对传感器电容充放电使输出脉冲的宽度随电容量的变化而变化，再经低通滤波器可得对应被测量变化的直流信号。 输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。 3.5 电容式压力传感器 差动脉冲调宽电路各点电压波形图如示 3.5 电容式压力传感器 4、调频电路 将电容式传感器接入高频振荡器的LC 回路中，当被测量使电容变化时，振荡频率也相应变化，故称为调频电路。 图所示为调频电路原理图 3.5 电容式压力传感器 5、运算放大器 将电容式传感器接入运算放大器中，作为电路的反馈元件构成的测量电路如图所示。 以Cx=εS/d 代入，可得： 上式表明，输出电压与d是线性关系。 3.5 电容式压力传感器 3.5.4 电容式压力传感器 1、电容式差压传感器 将左右对称的不锈钢基座2和3的外侧加工成环状波纹 沟槽，并焊上波纹隔离膜片1和4。基座内侧有玻璃层5， 基座和玻璃层中央都有孔。玻璃内表面磨成凹球面，球面 除边缘部分外镀以金属膜6，此金属膜层为电容的定极板 并有导线通往外部。左右对称 的上述结构中央夹入并焊接弹 性平膜片，即测量膜片7，为 电容的中央动极板。测量膜片 左右空间被分隔成两个室，故有两室之称。 3.5 电容式压力传感器 2、变面积式压力传感器 测压力作用在金属膜片1上，通过中心柱2、支撑簧 片3使可动电极4随膜片中心位移而动作。 3.6 霍尔式压力计 霍尔式压力计是利用霍尔元件测量弹性元件变形的一种电测压力计，它结构简单，体积小，频率响应宽，动态范围(输出电动势的变化)大，可靠性高，易于微型化和集成电路化。但信号转换效率低，温度影响大，使用于要求转换精度高的场合必须进行温度补偿。 3.6.1 霍尔效应 3.6 霍尔式压力计 霍尔元件的特性常用灵敏度KH表示，即 此时 可见，霍尔电动势的大小正比于控制电流I和磁感应强度B的乘积及灵敏度KH。当控制电流的方向或磁场的方向改变时，输出电动势的方向也将改变。但当磁场与电流同时改变方向时，霍尔电动势并不改变原来的方向。 3.6 霍尔式压力计 3.6.2 霍尔式压力计工作原理 3.6 霍尔式压力计 3.6.3 霍尔式压力计的误差及补偿 霍尔式压力计的误差有两部分，一是弹性元件的变换 误差；一是霍尔元件的变换误差。 1、不等位电势及补偿 不等位电势的产生有两个原因，如图所示。 3.6 霍尔式压力计 几种补偿电路 3.6 霍尔式压力计 2、霍尔电势的温度系数 主要是温差电势和灵敏度系数随温度变化两种情况。 3、温度对内阻的影响 3.6 霍尔式压力计 4、温度补偿 霍尔元件输入电阻和霍尔电势的温度系数均 为正的效果较好的补偿电路图。 实际测量中，要求较高时，常采用恒温方法。 3.6 霍尔式压力计 3.6.4 霍尔式压力计 由两部分组成：一部分是弹性元件，用它来感受压 力，并把压力转换成位移量；另一部分是霍尔元件与磁系 统。 3.7 电子称 3.7.1 电子称的原理 电子称的核心部件是称重传感器。称重传感器把机械力转换为电信号，经放大处理后，或显示，或输入数据处理系统。 图是一个比较简单称重系统框图。 3.7 电子称 3.7.2 称重传感器原理 秤重传感器根据制作原理不同可以分为感应式、电容 式、压磁式、振弦式和应变式等，而压磁式、振弦式和应 变式传感器在电子称系统中都得到了广泛地应用。 图是振弦式称重