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微波谐振腔气体放电的功率吸收与电子密度-福州大学学报自然科学版
29 3 () Vol.29 No.3
2001 6 Journal of Fuzhou University(Natural Science) Jun.2001
:1000-2243(2001)03-0011-03
1 2
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(1., 350002;2., 200062)
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, 0.133 3 ～3.332 5
kPa.2 ,
.(3.332 5
kPa),.,
, , .2.666
～3.332 5 kPa ,
80%.
2
3 、
, .,
., 、[1, 2] .
, π/2., ,
.[1, 2] .
E eff =E a +Ep (1)
:E a Ep .,
[3]
, .
E a = ρZ w P in a (2)
2
Z w =120π/ 1-(λ/2a ) (3)
:ρ, ;Z w TE10 ;P in
, ;a =109.2 mm, BJ-22 ;λ=122.4mm,
., [ 1-3] :
2 2 2 2 2 2
E =E ω/ω, ω =ne /m ε, ω
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