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掺杂透明导电薄膜电学及光学性能研究-无机材料学报
第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 ,
年 月 ,
文章编号 一 一 一
掺杂 透 明导 电薄膜 电学及光学性 能研 究
郭玉 忠, 王 剑 华 , 黄瑞 安, 王 贵青
昆 明理 工 大 学新材 料 制备 与加 工省 重 点 实验 室 , 昆 明
、 、 、
实验测 一 工 艺 的 掺 流 浓 迁 阻
摘 要 通过 量 制备 杂 薄膜载 子 度 移率 电 率
膜厚 , 紫外 一 可 见光 区透射率 、 反 射率等性质 , 详细研 究 了 掺杂 薄膜 电学 与光学性
, , ,
能 实验发现 薄膜具有 良好 的透光性和较高导 电性 膜 内载流子浓度高达
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