新型激光驱动可变形反射镜的模型研制及特性.PDFVIP

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2018-03-29 发布于天津
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新型激光驱动可变形反射镜的模型研制及特性

第卷第期半导体学报年月新型激光驱动可变形反射镜的模型研制及特性向东王青玲张光勇周丽娜中国地质大学数学与物理学院武汉华中科技大学光电子信息与工程学院武汉中国地质大学地球物理与空间信息学院武汉华中科技大学激光国家重点实验室武汉摘要介绍了一种新型的利用激光驱动的可变形反射镜它包括三个部分以聚脂薄膜为主体做成的厚的镜面支撑镜面的高栅格状的支撑柱由光敏材料砷化镓构成的感光底层同时在镜面与感光底层之间施加偏置的高频交流电压当感光底层背面被激光照亮时中载流子的变化导致镜面与感光底层之间电阻的重新分布从而镜面与感光底层之间电压发生变化因此在静电力的作用下镜面将会发生相应的形变文中分析了此反射镜工作的理论模型介绍了此装置的制作工艺并通过实验验证了偏置电压幅值交流电压频率等参数对可变形反射镜性能的影响关键词自适应光学可变形反射镜光驱动光学特性中图分类号