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教專研 100P-036 雷射探頭聚焦即時控制系統之研製 雷射探頭聚焦即時控制系統之研製 童景賢 機械工程系 摘要 精密量測技術在產業方面的應用極為廣泛 ，例如工具機、醫學顯微儀器、精密量測 儀器等，同時在奈米科技領域裡面亦是不可缺的技術，其 產業價值無可限量。精密定位 技術是精密產品製造、精密尺 寸測量、精密機械檢測與運轉之關鍵技術。隨著精密工程 的不斷進步，不論是半導體產業、精密機械工業、 生物細胞領域、光電系統、顯微機構、 表面工程、STM 、SPM 等方面，皆朝微小化、精密化的方向前進，而且與精密量測系統 息息相關，並扮演著重要關鍵的角色，因此對於精密量測 技術有著越來越高的要求，並 受到極大的重視。 本計畫擬專注於『雷射探頭聚焦即時控制系統』之研製，以應用於微奈米測距上。 計劃中將使用雷射讀取磁頭與 多重光學鏡片組件來研製精密位移感測器，並透過當代控 制法則控制雷射讀取頭上之音圈馬達，來延長量測距離， 使能測量微動系統之軸向位移 量；同時將以 LabView自行開發一套軟體，使系統之位移量轉換為電壓訊號，以便即時 能將量測結果輸出於螢幕，並更進一步作系統資料分析。由於市面上一套雷射干涉儀之 售價動輒上百萬台幣，尤其若 與位移機構結合成一完整之微奈米級位移系統，其成本至 少超過壹百萬台幣。以如此高價位之投資成本，必定無法應用於相關產業之精密位移定 位系統上。 本計畫擬針對『雷射探頭聚焦即時控制系統』，將使用雷射讀取磁頭與多重光學鏡片 組件，自行研製位移感測器，以取代售價昂貴之雷射干涉儀，用來測量微奈米微動軸向 位移量。 DVD雷射探頭經過自動聚焦控制後 ，電壓與位移曲線量測結果 ，實驗結果顯示 經過 PID 聚焦控制後，量測位移可由原來 S曲線之直線範圍 7μm ，進一步延長至 1150μm 。 如此將可大為降低購置成本，以使產業界之相關應用更為普及。 壹、緒論 一、研究動機 在現代化工業中，由於高精度的產品需求 ，使得加工製程中，對於製造精度的要求 也愈趨嚴格，因此微機電和奈 米技術逐漸受到重視，相對的高精度的量測技術也愈顯重 要。近年來，精密工業發展蓬 勃，無論是通訊、光電、生物科技、精密機械或半導體等 相關的產業，都有趨向小型化 、精密化及細微化，因此對於微米、次微米甚至於奈米的 教專研 100P-036-1 機械工程系-童景賢 教專研 100P-036 雷射探頭聚焦即時控制系統之研製 定位精度之要求亦日漸提昇。 精密量測技術是所有精密機械的基礎，而其應用方面之實現之一項為「雷射量測系 統」。因此，本計劃擬於專注於『雷射探頭聚焦即時控制系統』之研究，以應用於微奈米 測距上。計劃中將使用雷射讀取磁頭與多重光學鏡片組件 來研製精密位移感測器，並透 過當代控制法則控制雷射讀取頭上之音圈馬達，來延長量 測距離，使能測量微動系統之 軸向位移量；同時將以 LabView自行開發一套軟體，使系統之位移量轉換為電壓訊號， 以便即時能將量測結果輸出於螢幕，並更進一步作系統資 料分析。以下將針對本研究之 最主要的部分，作更深入探討。 非接觸式量測在測量時不會對工件造成損害，且在處理大量點資料上具有較佳效 率，因此最能符合工業界的檢測需求，所以非接觸式量測已成為工業量測之趨勢。現階 段的非接觸式量測技術常見的有 : 光學切換式(Optical switching sensor) 、CCD取像技術 及位置敏銳偵測法 (Position sensitive detector, PSD) 。其中位置敏銳偵測法因為精度高，因 此對於微奈米級量測之需求，最為合適。 市面上之非接觸式光學量測儀，例如光纖位移計 MTI KD-300 精度只能達 5微米， 售價就需十萬元；例如雷射位移量测系统 MTI MicrotrakII ，精度能達1微米，其售價至 少三