小功率平面微带电感耦合微波等离子体源的研究.pdfVIP

坐塞短范盘堂甄±坐位论室 摘要 基于微系统的小功率微波等离子体技术是一项近几年发展起来的集微电子 技术、微波技术和等离子体技术于一体的高新技术。其基本思想是采用微带电路 通过小功率微波激励小尺寸的等离子体，例如用不超过3～5瓦的微波功率使气 体电离，产生10毫米甚至0．2毫米尺寸的等离子体。这种基于微系统的小功率 微波等离子体具有很多突出优点，如结构简单、使用寿命长、状态稳定、无电极 污染、易与其它MEMS器件集成等等。由于此项技术在生物MEMS的杀菌消毒、小 尺寸材料的处理以及微化学分析系统等领域具有良好的应用前景，因而受到越来 越广泛的关注。本文根据小功率等离子体源的小型化要求，重点研究微带电感耦 合等离子体源(ICP)激励天线的设计原理并加以研制。 本文在射频MICP的基础上，根据小型化等离子体源和小功率微带螺旋电感 耦合谐振天线的理论，研究电感耦合等离予体源天线的等效电路，分析等离子体 激励后对谐振天线的影响，通过理论分析，建立模型，提出了一种至上而下 天线设计流程。 为了验证理论计算，本文运用软件进行仿真，设计了一个谐振在2．45GHz 的微带电感耦合等离子体源(ICP)激励天线，研究相关参数对微带谐振器性能 的影响。仿真发现螺旋线圈的尺寸对谐振频率的影响最明显，其中螺旋线圈外径 对频率的调整范围较大，当其他参数不变而增大外径D口时，谐振频率减小；随 着介质基片介电常数的增大，谐振频率开始减小，辐射效率降低。理论计算结果 与实验结果比较基本符合。本文还研究了电感耦合激励天线的损耗机制，提出一 种自谐振结构，使辐射场增强为原结构的7倍。实验结果验证了理论和仿真的正 确性． 本研究受国家自然科学基金资助项N资助。 关键字：电感耦合微波等离子体源(ICP)，平面微带螺旋谐振天线，自谐，数值 仿真 生塞哑蓖太堂硒±堂焦i幺奎 Abstract InMEMS suchaschemical andmicroion applications analysis propulsion ICPsourcesare usedduetotheir widely simplicity,power systems，miniaturized lifeandlow contamination．Morearemuch saving,long process importantly,they easierbe withotherMEMSdevices． to integrated Plasma fromneutralionized Coupled 0cP)isgenerated gas by Inductively electronswhichareacceleratedin field a strongelectromagneticgeneratedby microwaveantenna．Thefieldsetarestrictiontoelectronsso cannot magnetic tllcy the thefield theelectricfield toaccelerate gobeyond area,meanwhile provideenergy electronstomaketheneutral withother