溶胶凝胶原理及技术课件科大溶胶凝胶原理及技术08薄膜材料(1399KB).pptVIP

4) 紫外线、臭氧洗涤法 方法：通过紫外线、臭氧的物理、化学作用将油脂等有机污物除去。 适用：仅适用于其它清洗方法之后，很少单独使用。 优点：从操作控制和洗涤效果方面来讲，采用紫外线、臭氧法洗涤比较好。 电源 低压水银灯 基版 铝箱 铝合金反射镜 臭氧发生器 图7-6紫外线、臭氧洗涤装置示意图 5) 基板洗涤工序 将上述四种洗涤方法组合起来，可以明显提高洗涤效果。 其组合方式视镀膜的质量要求及污染程度而定。 超声波法用在擦洗法后效果更好。 蒸汽洗涤法用在上述两种方法之后，更能发挥其洗涤作用。如果用此法作为最后一步工序，可省略氮气鼓风干燥。但由于使用了蒸发速度快的溶剂，会在基板表面残留下混入溶剂中的杂质。因此，这时必须使用纯度高的溶剂。 如果对表面清洁度要求更高的话，在氮气吹干后，再进行高温加热洗涤或紫外线、臭氧洗涤。 3.清洗效果的检测与评价方法 表7-11 蒸汽实验结果及接触角AES分析结果一览表 (1) 呼气成象法 蒸汽试验结果 （清洁度等级外观） 研磨的石英板上附着水的状态 接触角/° 污物分子层数 极好条纹 附着、蒸发时呈均匀的虹状干涉图案 4 0.1 好条纹 附着时均匀的干涉图案、蒸发时非均匀干涉图案 4 0.1 差条纹 附着时不均一的干涉图案 4 ≤0.1 橘皮纹 可见无色、大的水滴，透明 5~10 0.1~1 雾斑纹 很多小水