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明道大学高解析场发射扫描式电子显微镜JEM7000F管理办
明 道 大 學
高 解 析 場 發 射 掃 描 式 電 子 顯 微 鏡
J E M 7 0 0 0 F
管 理 辦 法
一、目的：
為維持本實驗室貴重儀器正常運作及發揮其最大功能，特訂定此管理辦
法以供使用者依循。
二、儀器設備：
1.儀器中文名稱：高解析場發射掃描式電子顯微鏡
2.儀器英文名稱： HIGH RESOLUTION FIELD EMISSION SCANNING ELECTRON
MICROSCOPE
3.儀器英文簡稱： HR FESEM
4.儀器設備說明：
儀器購置日期： 2005 年 6月
儀器經費來源：教育部補助款
儀器設備管理維護單位：明道大學材料科學與工程學系
儀器放置地點：寒梅大樓梅 B05
儀器設備管理老師：謝耀南教授 04-8876660 ext 8018
儀器操作技術人員：張進發先生 04-8876660 ext 3337
儀器廠牌： JEOL
儀器型號： JSM-7000F
儀器主要規格：
解析度 1.5nm(15kV) 3.0nm(1kV)
倍率 ×25 to ×650,000
加速電壓 0.5kV to 30kV
1
探測電流 1 pA to 200nA
電子槍型式 熱場發射式 Schottky Field Emission Gun
樣品最大容許 直徑 ψ25 mm × 高度 10 mm
及時影像顯示 1280 × 1024 pixels
試片移動範圍：
X軸： 70 mm
Y軸： 50 mm
試片載台
旋轉：360∘
Z軸： 3 mm to 41 mm
傾斜角度： -5 to +60∘
主要附件：
EDS ：
廠牌 OXFORD
解析度 ≤ 133 ev
晶體偵測器 Si (Li)
元素偵測範圍 B5 ~ U92
三、儀器簡介：
本電腦化操作之高解析場發射掃描式電子顯微鏡，其特點為以熱場發
射電子槍產生能量均一之大束流與小束徑電子束，結合配置 EDS, WDS,
EBSD, and CL 適合多功能之分析及獲得高解析品質之影像。能提供金屬
材料、電子材料及高分子材料在高倍率下之二次電子影像(SEI)及背反電子
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