研发总中心先进制程试验室多靶射频溅镀系统操作说明.PDFVIP

研發總中心 / 先進製程實驗室 多靶射頻濺鍍系統操作說明 102/06/28修訂 開機程序 1. 開啟高壓空氣開關 (位於電源箱下方如圖一所示) 。 2. 開啟電源箱中濺鍍系統總電源開關，此時冰水機會自動啟動。 3. 檢查冰水機水量，水量須在 Low 刻度之上(如圖二所示) ，水量不足時請先加入蒸餾水。 4. 開啟位於濺鍍系統面板右上方的電源開關 (如圖三所示) 。 5. 顯示面板為觸控式，畫面如圖四所示，按面板上的 Main區域後，以手指輸入指定密碼。 6. 主畫面如圖五所示，選取手動流程控制，進入人機介面畫面(如圖六所示) 。 圖一 高壓空氣開關 圖二 冰水機的水量表 圖三 操作介面 圖四 開機畫面 圖五 主畫面 圖六 Manual 畫面 暖機 1. 系統