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目 录 1 MSAMSA基本概念基本概念 2 测量误差的种类测量误差的种类 3 为什么进行为什么进行MSAMSA 4 计量型测量系统分析计量型测量系统分析 5 计数型测量系统分析计数型测量系统分析 Page 2 1 测量系统分析－概述 • 我希望能更了解我的制程，该怎么做呢？ • 测量你的过程测量你的过程，分析得到的数据分析得到的数据，没有别的选择没有别的选择。 • 但是….如果测量得到的数据有误呢？我们可能因此 做出错误的决定做出错误的决定。。。 • 好问题，让我来告诉你。 结果可能徒劳结果可能徒劳 ！ Page 3 1.1 测量系统定义 用来对被测特性赋值的操作用来对被测特性赋值的操作、程序程序、量具量具、 设备、软件以及操作人员的集合，用来获得 测量结果的整个过程测量结果的整个过程。 Page 4 1.2 测量系统模型 被测件 被测量的项目被测量的项目 操作者操作者 测量过程测量过程 仪器仪器 测量结果测量结果 (输入) (输出) 程序 环境环境 Page 5 1.3 测量误差 YY xx ++ εε 测量值测量值 真值真值(True(True Value)Value) ++测量误差测量误差 戴明说没有真戴明说没有真 一致致 值的存在 Page 6 1.4 测量系统变差源 所有变异源的影响 变异源变异源SWIPESWIPE 通常称为测量系统通常称为测量系统 标准S 工件W 仪器I 变差 测量系统变差 人P 环境E Page 7 1.5 测量系统变异 实际值 测量值 实际值 量测系统 实际产品变异 量测变异 观察到的产品变异 长期产品变动 量检具造成的变异