超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响ΩΩ-强激光与粒子束.PDF

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２０ １０ Ｖｏｌ．２０Ｎｏ．１０ 　 　 年 月 ， ２００８ １０ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｏｃｔ．２００８ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００８１０１６５３０５ 　 超精抛光中边缘效应对材料去除量的影响 １ １ ２ ２ 杨 炜 ， 郭隐彪 ， 许 乔 ， 李亚国 　 　 　 　 　 （ 厦门大学 机电工程系，福建 厦门 ； 成都精密光学工程研究中心，成都 ） １． ３６１００５ ２． ６１００４１ 　 摘 要： 传统环抛加工一般将工件整个包围在抛光盘内，加工之后虽然可以获得较好的工件表面，但是 　　 　 　 需耗费较多的时间，生产效率较低。针对这种情况，借助 ＰＰＳ快速抛光机床，依据 Ｐｒｅｓｔｏｎ公式，对露出抛光盘 的工件部分，即对所谓的边缘效应进行研究，用新的表面模型表示非线性压强分布，合理地避开了线性模型造 成的压强负值问题。并且对工件材料去除量进行仿真计算，建立了新的去除模型，得出了偏心距、工件半径和 抛光盘转速比值对材料去除量的影响。根据此模型，选择适当的偏心距和转速比对工件进行加工，可获得较好 面型。 关键词： 超精抛光； 边缘效应； 表面模型； 压强分布； 去除量 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： ＴＧ７０１ 文献标志码： Ａ 　　 　 　　　　 　 平面抛光是超精密加工中的一道重要工序，是提高工件表面面型精度和表面光滑度的有效手段，而工件和 　　 抛光磨盘接触区内各点瞬时压强的分布，是影响工件材料去除量的重要因素。实际加工过程中，精密磨削和研 磨阶段后的工件（如用于做反射镜片的玻璃）需要经过抛光。这些工件本身就具有一定的不平度，需要在抛光 过程中利用压强的非均匀分布来实现材料的非均匀去除，从而获得较好的平面度。目前国内外采用了两种加 工方法来研究压强的分布：一种是将工件整体包围在抛光盘中，如传统环抛，利用有限元分析法，对工件上不均 ［ ］ ［ ］ １３ ４６ 匀压强进行研究 ，但这种方法耗时长，效率低；另外一种是将工件部分露出抛光盘，即所谓的边缘效应 ， 利用工件在抛光过程中由于力和力矩平衡造成压强分布不均匀的特点，从而实现工件各点的不均匀加工。 ［ ］ ４５ 针对边缘效应，国内外学者研究了几种压强分布模型 ，但都存在一定的局限性，其中典