脉冲偏压辅助PECVD超憎水TiO2薄膜及其湿润性的研究.pdfVIP

偏压辅助PECVD超憎水Ti02薄膜及其湿润性的研究 摘要 近年来，水的接触角为1500以上的超憎水性薄膜，因为在生活和工业方面 具有非常显著的自清洁应用而引起了越来越多的关注。二氧化钛薄膜拥有光催化 性能，在紫外光的照射下可以分解有机物。所以能够综合超憎水性和光催化性能 的自清洁材料的研究引起了许多学者的兴趣。本文的研究目的就是希望用等离子 体增强化学气相沉积的方法制备超憎水性二氧化钛薄膜。 本课题用氧气为载气，四异丙基钛酸脂(TIPT)为单体，以等离子体增强化 EnhancedChemical 学气相沉积(Plasma Vapor 基片上成功制备了具有微纳米阶层结构的超憎水性二氧化钛薄膜。使用扫描电 镜、透射电镜、原子力显微镜、接触角测量仪、元素分析仪、等离子体发射光谱 仪、红外光谱仪和双光束紫外可见光谱仪分析了薄膜的表面形貌、湿润性能、化 学组成、化学结构和光学性能。发现薄膜是由微米颗粒和纳米颗粒共同组成的团 聚结构，微米的“乳突是由纳米的颗粒所筑成。薄膜的红外光谱表明，薄膜是 由无机的氧化钛和有机的低表面能物质共同组成。水滴在薄膜上的接触角随着等 离子体射频功率的增强而增大，接触角最大可达1