第5章电感式传感器 - 副本.ppt

根据基尔霍夫定律，可列出下面的方程： M R1 L2 L1 R2 传感器线圈的等效阻抗为： 线圈的电感为： M R1 L2 L1 R2 当被测导体的某些参数发生变化时，可引起涡流式传感器线圈的阻抗Z、电感L和品质因数Q变化，测量Z、L或Q就可求出被测量参数的变化。 M R1 L2 L1 R2 线圈等效Q值： Q0 -----无涡流影响下线圈的Q值， Z2 -----金属导体中电涡流部分阻抗， 电涡流传感器的种类 电涡流在金属导体内的渗透深度为: 电涡流在金属导体内的渗透深度与传感器线圈的激励信号频率有关。故电涡流式传感器可分为高频反射式和低频透射式两类。目前高频反射式电涡流传感器应用较广泛。 导体电阻率ρ、磁导率μ 线圈激励电流的频率f 5.3 电涡流式传感器 结构和基本原理 5.3 电涡流式传感器 结构和基本原理 5.3 电涡流式传感器 金属导体表面的电涡流强 度I2 与距离X是非线性关系，随 x/r上升而下降。 I2只有在x/r1才能有较好线性和灵敏度。 X/ros I2/I1 1.0 1 2 3 4 低频透射式电涡流传感器 发射线圈L1和接收线圈L2分置于被测金属板的上下方。 低频透射式电涡流传感器 涡流消耗部分磁场能量，使感应电动势u2减少，当金属板越厚时，损耗的能量越大，输出电动势u2越小。 应用 5.3 电涡流式传感器 电涡流传感器的应用 电涡流传感器目前主要应用于测位移、振动、 转速、测厚度、电涡流探伤。 特点：做非接触式测量。 应用 （1）测厚 ：低频透射式涡流厚度传感器 高频反射式涡流厚度传感器 （2）测转速 （3）测振动 （4）电涡流探伤 应用 5.3 电涡流式传感器 电涡流传感器 应用 5.3 电涡流式传感器 涡流转速测量 涡流振动测量 应用 5.3 电涡流式传感器 应用 第5章 电感式传感器 加速度传感器 1 悬臂梁；2 差动变压器；3 衔铁 1 2 a 3 应用 第5章 电感式传感器 位移测量 振幅测量 转速测量 应用 第5章 电感式传感器 应用 第5章 电感式传感器 F 电感压力传感器 —— 变气隙式结构 应用 第5章 电感式传感器 微压传感器 1 接头；2 膜盒；3 底座；4 线路板； 5 差动变压器；6 衔铁；7 罩壳 1 2 3 4 5 6 7 应用 第5章 电感式传感器 变气隙式差动压力传感器 应用 第5章 电感式传感器 电感式油压传感器 —— 液压传动的各种机械装置 应用 第5章 电感式传感器 电感式接近传感器 应用 第5章 电感式传感器 生产中测量产品的长度 每个脉冲对应的长度： 被测物总长度： 应用 第5章 电感式传感器 生产线工件的计数 机械手的限位 应用 第5章 电感式传感器 本章要点： 变磁阻式传感器（自感式）工作原理、测 量电路（转换电路）； 差动变压器式传感器（互感式）工作原理、 等效电路及测量电路； 零点残余电压的影响和补偿； 电涡流传感器的工作原理及应用。 第5章? 电感式传感器 本章要点： 差动变压器做位移测量可得到比例于机械位移的交 流电压； 关于磁场、磁通、磁性体； 差动变压器的应用例—差压传感器、位移传感器、 流量传感器； 电涡流传感器。 第5章? 电感式传感器 二、变换特征 5.2 差动式变压器 三节螺管式差动变压器结构 L1 R22 L21 M1 M2 L22 R21 R1 ～ ～ ～ 二、变换特征 5.2 差动式变压器 铁芯位移x与输出电压e2之间是非线性关系。非线性误差: 。K1是传感器的灵敏度系数，受匝数比，激励电源的频率、电压等因素影响。 三、误差因素分析 5.2 差动式变压器 激励电源电压幅值的波动，会使线圈激励磁场的磁通发生变化，直接影响输出电势。而频率的波动，只要适当地选择频率，满足 时，其影响不大。 L1 R22 L21 M1 M2 L22 R21 R1 ～ ～ ～ 1、激励电压幅值与频率的影响 三、误差因素分析 5.2 差动式变压器 L1 R22 L21 M1 M2 L22 R21 R1 ～ ～ ～ 2、温度变化的影响 　　周围环境温度的变化，引起线圈及导磁体磁导率的变化，从而使线圈磁场发生变化产生温度漂移。因此，采用恒流源激励比恒压源激励有利。适当提高线圈品质因子并采用差动电桥可以减少温度的影响。 三、误差因素分析 5.2 差动式变压器 3、零点残余电压 当差动变压器的衔铁处于中间位置时，理想条件下其输出电压为零。但实际上，当使用桥式电路时，在零点仍有一个微小的电压值(从零点几mV到数十mV)存在，称为零点残余电压。 x -x 0 e2 e20 1 基波正交分量 (