衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响.PDFVIP

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2018-04-01 发布于天津
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衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响.PDF

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衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响

第卷第期物理实验ｌ．３４Ｎｏ．６３４６Ｖｏ　　　　　　　　　　　　　　　　　　　年月ＰＨ，ＹＳＩＣＳＥＸＰＥＲＩＭＥＮＴＡＴＩＯＮ　　Ｊｕｎ．００１４６１４２２　　　　櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶衬底温度对磁控溅射制备掺铝氧化锌薄膜的结构和光电性能的影响范丽琴（，）华侨大学厦门工学院福建厦门１０２１３６：，摘要利用射频磁控溅射在石英基片上沉积掺铝氧化锌薄膜研究了衬底温度对薄膜结构和光电性能的影响当．　　　，（），给衬底加热时射线衍射观测峰相对强度明显增强在衬底温度下制备的薄膜的晶粒尺寸最大为Ｘ００２．２５０ ℃ ，，，表面粗糙度最小为表明在衬底温度下制备的薄膜的结晶效果最好衬底温度从升高到２４．９ｎｍ８．１ｎｍ２５０ ℃ ．３０℃ －４－４，，，０ ℃ 薄膜的电阻率相应地从１４．３５×１０