测试与验收-国家研究院.docVIP

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2018-04-04 发布于天津
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財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室『G1電漿輔助化學氣相沈積系統之製程腔體加熱器系統購與計修改』招標規範書目錄頁次一、說明 3 二、設備明細 3 三、軟硬體規格 3 四、製程規格與驗收項目 4 五、審查文件 5 六、測試與驗收 5 七、保固 5 八、履約期限 6 九、規範書釋疑聯絡人 6 說明本規範適用於財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室，電漿輔助化學氣相沈積系統為達到精準控制奈米級薄膜沈積厚度與均勻性，達到大面積(32x40cm2)與高均勻性奈米級薄膜沈積 (15 nm)功能，故本購案為購製程腔體加熱器並同進行加熱之模組控，以符合低缺陷奈米級薄膜沈積，