微机电系统设计与应用-绿色能源电池研究中心-明志科技大学.pdfVIP

明志科技大學課程綱要 表 課程名稱：（中文）微機電系統設計與應用 開課單位 能源電池科技博士 班 （英文）Design and Applications of MEMS 課程代碼 授課教師：吳宜萱 學分數 3 必選修/ 專業( 選修) 開課年級 先修科目或先備能力：半導體製程、工程力學、儀器與量測、電化學工程、基礎英文閱讀 課程概述與目標 ：本課程主要講授微機電系統的 基本知識 與原理，包含製作設備與製程的 介紹、元件感測原理以及微機電系統分析與模擬等，以期 學生們能夠獲得進入奈微機電 系 統領域的入門知識，且熟知微機電系統設計 與製造原則 (學生核心能力指標 #1) 。本課程使 用英文教科書用以增進學生們的英文閱讀與理解能力，並且輔以 奈微 米機電系統相關應用 所發表之研究論文或技術報告作為課堂補充教材 以及當作期末書面與口頭報告的參考教 材(#2, 3) 。另外，本課程在各單元的授課中均會提出一些目前相關技術之發展狀況與實際 問題與學生討論，在討論中培養學生有獨立思考問題的能力及掌握產業及科技趨勢的能力 (#4-6) ，為終身學習打下良好的基