微量量气体分析仪RGA应用於真空舱残气分析.PDFVIP

微量氣體分析儀(RGA)應⽤於真空艙殘氣分析 毅泰成科技股份有限公司 吳柄村 date: Oct-20-2017 ETai Technology Confidential RGA在熱真空腔測試(thermal-vacuum test)應⽤ 進入太空中的任何太空航具⽽⾔釋氣(outgassing)是⼀種挑戰。釋氣將會污染光學或檢測器， 造成太陽能電池功率降低等等影響，因此熱真空腔測試(thermal-vacuum test)被頻繁地⽤在 太空載具⼯程的領域中。 常⾒的釋氣(outgassing)來源包含了⽔氣(Moisture)、密封膠(Sealant)、潤滑劑(Lubricant)與 黏合劑(Adhesive)等等，即使是⾦屬和玻璃也可以從裂縫或雜質中釋放出氣體。在熱真空腔 測試中殘餘氣體分析儀(RGA)常被使⽤的儀器之⼀，⽤來檢測這些釋氣成分與濃度 。 ETai Technology Confidential 關於殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer ; RGA) 殘餘氣體分析儀(Residual Gas Analyzer ; RGA)被應⽤於真空領域已超過三⼗多年是，業界 與學界⽤來了解真空系統內氣體分布的變化與含量，廣泛應⽤於真空系統測漏、製程氣體分