注射成型微流控芯片微沟槽成型质量的无损检测-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ ７ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．７ 　 　 　　 　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ ７ Ｊｕｌ．２０１０ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１００７１６０５０８ 　 注射成型微流控芯片微沟槽成型质量的无损检测 祝铁丽，周 亮，刘永云 　 （大连理工大学 模具研究所，辽宁 大连 １１６０２３） 摘要：针对注射成型的微流控芯片具有微沟槽深度成型质量好，宽度成型质量较差，而且各处微沟槽的宽度成型质量不 均衡的特点，利用 Ｍａｔｌａｂ软件的图像处理工具箱开发了微流控芯片微沟槽显微平面图片的图像处理系统，实现了利用 常用的光学显微镜对微沟槽的成型质量进行无损检测。引入人工干涉来进行高效图像去噪处理。根据提取的微结构轮 廓点进行了微沟槽轮廓的曲线拟合，测量了微沟槽的开口宽度和底部宽度。对由微流控芯片微沟槽显微平面图片所得 到的测量结果与由对微流控芯片进行切片检测所得到的测量结果进行比较，结果显示，两种方法得到的微沟槽开口宽度 相差约 ４％，槽底部宽度相差约 ３％，说明微沟槽显微平面图片的测量结果能够满足注射成型工艺研究中微流控芯片微 结构成型质量检测的要求。 关 键 词：注射成型；微流控芯片；微沟槽；图像处理；无损检测 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ ＴＱ３１７．３ＴＰ３９１．４１ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１６０５ 　　 　　 犖狅狀犱犲狊狋狉狌犮狋犻狏犲狋犲狊狋犻狀 犳狅狉犿犻犮狉狅 狉狅狅狏犲狊狅犳 犵 犵 犻狀犲犮狋犻狅狀犿狅犾犱犲犱犿犻犮狉狅犳犾狌犻犱犻犮犮犺犻狊 犼 狆 ， ， ＺＨＵＴｉｅｌｉ ＺＨＯＵＬｉａｎ ＬＩＵＹｏｎｕｎ ｇ ｇｙ （ ， ， ， ） 犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犕狅犾犱牔犇犻犲 犇犪犾犻犪狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犇犪犾犻犪狀１１６０２３ 犆犺犻狀犪 犳 狔 犳 犵狔 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｉｎｅｃｔｉｏｎｍｏｌｄｅｄｍｉｃｒｏｆｌｕｉｄｉｃｃｈｉｓａｒｅｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚｅｄｂ ｔｈａｔｔｈｅｉｒｍｉｃｒｏ ｒｏｏｖｅｓｓｈｏｗ ｅｒ ｊ ｐ